真空计|热偶真空计|麦氏真空计|水银真空计|压力真空计-上海家君真空仪表制造有限公司
&&& 上海家君公司是一家集设计制造和研发创造为一体的、以生产真空仪器仪表为专业的国内有限责任公司。从创办初期的单一产品到如今已经形成以&家君&品牌的二十多个产品，企业的设计人员在不断地吸收国外洋品牌的先进技术同时，在自己的产品上加以改进，先后取得了两项新型实用专利的证书，新生代的产品在每年报送上海市计量测试研究院检测时精确度越来越好；真所谓简单的事情重复做你就是行家，复杂的事情用心做你就是专家；在国内的麦氏真空计生产企业中，真正起到了当之无愧的领头羊作用。
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真空设备用油的选型
作者：蔡东俊 人气：40753 日期： 11:58:10
真空设备用油的选型
1 真空泵油
近年来，我国真空技术领域发展突飞猛进，国际著名的大企业纷纷进入中国。如：德国莱宝、英国爱德华、法国阿尔卡特、日本真空等公司的真空获得设备和真空成套设备，在电真空工业、真空冶金、真空镀膜、蒸馏工业、食品工业及宇航科技领域等大量进入我国市场。与之配套使用的真空系列用油也相应涌入市场，因此引进了多国设备之后，迫切需要选用合适的真空用油。 在真空泵与油品之间的合理选用存在一定的问题，譬如，有用户反映某些真空泵的稳定性不佳，冬天好、夏天差、上午好、下午差，出厂时好、交用户手中时差。此外，油品遇水乳化，真空下跌，必须频繁换油；遇温度上升时真空就下跌，无法连续工作；冬季泵温低难于启动；夏季泵温高油品结焦电机烧坏；泵厂生产调试阶段时又会被泵极限真空而困扰，反反复复不达标准。 分析国外著名品牌真空泵，为何能在冷与热、短期与长期运转状态，以及各种苛刻环境中保持良好的稳定性和可靠性呢？除了泵的设计、结构、生产工艺外，与泵体的材质及旋片材料的耐磨耐热性、弹簧的高温抗疲劳性、橡胶密封件的抗高温老化性、真空泵油的油水分离性、高温耐受性、氧化安定性等因素有密切的关系。为了不断提高我国真空设备运转的润滑水平,满足相关行业对真空油提出的新要求,特编写了有关真空设备用油的选型的文章，以帮助用户正确地选择和使用真空油品，让有限的石油资源发挥更大的社会效益。&&&&&&&& &&
1.1 真空泵油的性能
&&& 真空泵工作原理，是用机械方法，使泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开，把压缩气体通过油层排出。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。由于真空泵油直接进入泵体内腔，在真空泵运行时，随着气体压强的逐渐降低，泵温的逐渐升高，油品中饱和蒸汽压高的分子组分就能蒸发到真空的空间，即影响真空泵极限压强的达到，又可向真空系统返流扩散，污染真空系统，并直接影响极限真空的获得。尤其是高速旋片式和滑片式真空泵的问世，转速由一般滑片泵的300 - 500r/min提高到1000 - 3000r/min，使泵腔内摩擦副表面的温度更高。这时，不稳定的油品可引起胶体黏附于摩擦表面，使油品受热变质，甚至产生轻微热解，生成低分子化合物污染真空系统。
1.1.1 真空泵油的性能要求
&&& 具有适宜的粘度，在低温下能使真空泵迅速启动，在高温下能具有良好的密封性，在泵内具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分，降低使用过程中真空泵的返油率。
2)饱和蒸汽压&
&&& 饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相达到动态平衡时的压力称谓饱和蒸汽压。
&&& 油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的最高工作温度下，仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规定的极限压强。在60℃温度条件下至少要达到6．5×10-5 kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
3)极限全压力和极限分压力
极限全压力：由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵所有物质(气体)产生压强的总和。国外目前重视全压强的测试指标。
极限分压力：用水银压缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa。极限全压力与极限分压力差值要求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，真空泵油中含有的挥发成分就越多，油品的性质就越差。
(注：极限全压力、极限分压力均采用双级优级真空泵进行试验)
&&& 摩擦面的磨擦磨损、表面疲劳磨损以及腐蚀磨损等，都与润滑条件有关。表现佳的真空油有利于抑制腐蚀磨损；可以有效地减轻粘着磨损和表面疲劳磨损；流体润滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。
5) 降温冷却
&&& 降低摩擦面的温度是润滑的一个重要作用。摩擦面运动时必须克服摩擦力而作功，消耗在克服摩擦力上的功全部转化为热量，其结果将引起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与润滑状态有关，粘度高的热量最大，粘度低的热量最小，而边界摩擦的热量则介于两者之间。由此可见，用合适粘度的真空油不仅可以实现液体润滑，减少摩擦热的产生，而且还可以将摩擦热及时地带出泵体外。& &&& 6)清净性
&&& 摩擦面不可避免地要与周围介质接触，引起腐蚀、锈蚀而破坏。表现优良的真空油要求尽可能把摩擦面积垢清洗排除；抗腐蚀防锈并保护摩擦表面不受油变质或外来侵蚀。
7)氧化安定性
&&& 氧化安定性说明润滑油的抗老化性能，对工业流水线作业的真空油都有此项特殊性能要求。一切润滑油都依其化学组成和所处外界条件的不同，而具有不同程度的自动氧化倾向。真空泵油在有空气(或氧气)及金属催化剂的存在下，在一定温度下的氧化时间里，会出现油品的酸值、粘度变化及生成沉淀物的情况。会随使用过程而发生氧化作用，因而逐渐生成一些醛、酮、酸类和胶质、沥青质等物质，氧化安定性则是抑制上述不利于油品使用的物质生成的性能。
8)耐热安定性
表示油品的耐高温能力，也就是润滑油对热分解的抵抗能力，即热分解温度。一些苛刻的真空使用环境都会对真空油品提出热安定性的要求。
天然矿物油均有其不可避免的缺陷，耐热性能要比合成油差，泵油的成份随热氧化分解极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随使用时间下降。一般纯矿物油氧化试验法D943为几百小时左右，而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其使用寿命得到延长。
9)抗乳化性
&&& 真空泵在运转过程中，系统内的水分与冷气体会排入泵油中， 如果真空泵油的抗乳化性不好，它将与混入的水形成乳化液，使水不易从循环油箱的底部放出，从而可能造成真空度下降和润滑不良。
&&& 因此抗乳化性是工业润滑油的一项很重要的理化性能。尤其在医药、食品、陶瓷等工业使用真空干燥过程中，泵油的抗乳化性能更至关重要。抗乳化性好的泵油油水分离能力强，水蒸汽和冷凝气体通过开启气镇阀，会排出部分水蒸汽。另外，低粘度泵油的抗乳化能力比高粘度泵油要好。
&&& 真空泵在运转过程中，由于有空气存在，常会产生泡沫，尤其是当油品中含有具有表面活性的添加剂时，则更容易产生泡沫，而且泡沫还不易消失。润滑油使用中产生泡沫会使油膜破坏，不仅使摩擦面发生烧结或增加磨损，并促进润滑油氧化变质。运转中的真空系统内气体会通过密封的真空泵油层不断排出，排出的气体会在油层表面产生大量的气泡，并从泵的排气孔中溢出，造成油品损失和设备污染。加防抗泡剂的泵油，在抗泡效果上有明显提高。
1.1.2 影响真空油的密封有效性的主要因素
影响真空油的密封有效性的主要因素如下：
1.真空要求不符合； 2.流动性； 3.润滑性； 4.热稳定性； 5.氧化安定性； 6.化学元素； 7.系统密封性； 8.弹性体的相溶性； 9.水解稳定性
1.2 真空泵油的分类:
国际标准化组织ISO/TC28/SC4(石油产品分类和规格分类技术委员会)与ISO/TC118压缩机技术委员会共同开展了D组(压缩机)油分类和规格工作，目前发表了真空泵油分类标准ISO6743/3A―1987(根据泵的类型、真空度和有无腐蚀性气体进行划分)。
表1& 国际标准化组织对真空泵油的分类(ISO6743/3A―1987)
表16.2& 各类真空泵油技术性能对比
1.2.1各类真空泵油技术性能对比
1.2.2真空泵及真空泵油对极限压力的技术要求
全国真空技术标准化委员会在1997年审定的真空泵质量分等标准，其中包括 JB/T53314―(1998)旋片式真空泵、JB/T503017―(1998)直联旋片式真空泵、JB /T53022―(1998)滑阀真空泵等主要的极限压力指示明显高于(ISO6743/3A―1987)真空泵油所规定的极限压力指示。(见表16.3、表16.4)据此用户可对泵油的适用性和应用范围应当有所选择和考虑。
表16.3& 真空泵与真空泵油对照
表16.4&& 真空泵与真空泵油对照
&&&&&&&& 1.2.3真空泵油的粘度和ISO-L级别选用
按ISO标准40℃mm2／s中心值可分为VG46、VG68、VGl00，其中上海惠丰化工研究所根据实际使用效果和客户要求，又增加了HFV-22、HFV-32、HFV-l50、HFV-220共七个牌号的产品。各个泵油牌号是根据泵的类型、转速、抽速、运动间隙、极限全压力和极限分压力的要求而制订的。
表16.5& 真空泵油的粘度和ISO-L级别选用
1.2.4真空区域的分界
表16.6& 真空区域的分界
1.2.5不同压缩介质选用润滑油对照表
表16.7& 不同压缩介质选用润滑油对照表
1.3真空泵油的质量标准
根据我国真空技术、真空获得技术的发展，60年代参照前苏联готс7903-56BM-4质量指标制订的1#真空泵油标准 IS0 6743／3A―1987(DVA)，(见表1)产品单一，粘度偏大，质量标准偏低，已不能满足现代真空技术的发展及引进真空设备的需要。(注：该油品目前归类为合格品100#真空泵油)
&&& 中石化在1992年12月在北京审定了SH矿物型真空泵油的质量标准IS0 6743／3A―1987(DVD/DVC)，(见表2)于1993年9月1日实施，用以替代SY(1988年确认)标准。(至今尚未重新修订)
&&& HFV-系列高真空油是上海惠丰化工研究所承接上海市十四项重点科技项目之一的特殊润滑油、脂国产化配套项目。在1995年已通过上海市重点办、市科委. 及市彩管办等十几家单位的产品鉴定验收。2000年9月通过上海市高新技术成果转化中心认定为A级高新技术成果(项目)
&&& 2001年9月HFV-系列高真空泵油通过了国家技术质量监督局的等效采用国际标准IS0 6743／3A―1987(DVE/DVF)研发的HFV-系列高真空泵油技术认定;企业标准号 ：Q/NHAI3;Q/NHAI4;并颁发了采用国际标准及标志证书。
&&& 该油具有粘度可选择性大，粘度指数高、闪点高，耐热性好、油水分离性强，不易乳化、饱和蒸汽压低等优点。
1.3.1 1#真空泵油质量标准(SY)
表16.8& 1#真空泵油质量标准(DVA)
1.3.2& SH真空油的质量标准
表16.9&& SH真空泵油质量标准
&&& 优质品(DVD)
&&& 一级品(DVC)
合格品(DVA)
粘度等级(按GB3141)．
运动粘度（40℃），mm2/s
4l.4～ 50.650.6
61.2～ 74.874.8
90～ 110110
41.4～ 50.650.6
61.2～ 74.874.8
90～ 110110
90～ 110110
粘度指数&&&&&&&&&&& 不小于
密度(20℃)kg／m3不大于
倾点℃&&&&&&&&&&&&& 不高于
闪点(开口)℃&&&&&&& &不低于
中和值mgkoH／g&&& 不大于
色度，号&&&&&&&&&&& &不大于
残炭，％&&&&&&&&&&& 不大于
抗乳化度(40-37-3)min54℃&&&&&&&&&&& 不大于 82℃&&&&&&&&&&& 不大于
腐蚀试验(铜片，100℃，3h) 级&&&&&&&&&&&&& 不大于
泡沫性(泡沫倾向性／ 泡沫稳定性) ml／ml 24℃&&&&&&&&&& 不大于 93.5℃&&&&&&&& 不大于 后24℃&&&&&&&& 不大于
100/0 75／0 100／O
100/0 75／O 100/0
100/0 75／O 100／0
氧化安定性 a．酸值到2.0mgkoH／g 时间1)h&&&&&&& 不小于 b．旋转氧弹(150~)min
水溶性酸或碱
机械杂质，％
灰分，％&&&&&&&&&&& 不大于
饱和蒸汽压(KPa)，20℃不大于 60C 不大于
― 6.7X10-7
― 1.310-7
― 6.710-7
极限压(KPa)，&&& 分压不大于 全压不大于于
2.7X10-5 报告
2.7X10-5 报告
2.7X10-5 报告
6.7X10-5 报告
6.7X10-5 报告
6.7 X 10-5 报告
1.3.3 高低粘度真空泵油暂定标准SH
表16.10& SH真空泵油暂定标准
质&& 量&& 指& 标
实 验 方 法
优质品(DVD)
一级品(DVC)
粘度等级(按GB3141)
运动粘度(40℃)，mm2/s粘度指数&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不小于密度(20℃)，kg／m3 &&&&&&&&&不大于
倾点，℃&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不高于闪点(开口)，℃&&&&&&&&&&&&& 不低于中和值，mgKOH/g&&&&&&&&&&&&&& 不大于色度，号&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于残炭，%&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于抗乳化度(40-37-3)，min54℃&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于82℃&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于腐蚀实验(铜片，100℃，3h)级&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于泡沫性(泡沫倾向/泡沫稳定性)，ml/ml24℃&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于93.5℃&&&&&&&&&&&, ;,, n, bs,, &a,nbs,, &a,nbs,, &a,nbs,, &a,nbs,, , &n,, &,&&& 不大于后24℃&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 不大于氧化安定性*a.酸值到2.0mgKOH/g时间，h不小于b.旋转氧弹（150℃），min不小于热安定性（150℃，24h），沉淀物饱和蒸汽压（60℃），kPa&&&&&&& 不大于极限压力分压& kPa&&&&&&&&&&&&&&& 不大于全压&& kPa&&&&&&&&&&&&&& 不大于
28.8～35.290875
-92000.10.50.02
100/075/0100/0
200无1.3×10-5
2.0×10-51.5×10-5
135～16590886
-92500.14.00.15
100/075/0100/0
200无6.7×10-8
2.0×10-51.5×10-4
28.2～35.290875
-92000.10.50.03
――6.7×10-5
6.0×10-5―
135～16590886
-92500.15.00.20
――1.3×10-7
6.0×10-5―
GB/T265GB/T2541GB/T21884或GB/T1885GB/T3535GB/T3536GB/T4945GB/T6540GB/T268GB/T7305
SH/T0913JISK2540SH/T0293GB/T6306.2
1.3.4& HFV-M系列高真空油质量指标
表 16.11& HFV-M高真空油质量指标 Q/NHAI3-2004
粘度等级(GB3141)
运动粘度(40℃)，mm2 /s
41.4～50.6
61.2～74.8
粘度指数&&&&&&&&&&&& ≥
闪点(开口)，℃&&&&&&& ≥
倾点， ℃&&&&&&&&&&& ≤
酸值， mg koH/g&&&&& ≤
色度， 号&&&&&&&&&&& ≤
残炭， %&&&&&&&&&&& ≤
水分，&&&&&&&&&&&&&& %
水溶性酸或碱
腐蚀试验 (铜片,100℃,3h)级&&&& ≤
抗乳化度 (40-40-0)ml,min 54℃&&&&&&&&&&&&&&& ≤82℃&&&&&&&&&&&&&&& ≤
泡沫特性 (泡沫倾向/稳定性)(ml/ml) ,≤
24℃ 93.5℃ 后24℃
80/050/060/0
80/050/060/0
80/050/060/0
饱和蒸汽压,kPa 60℃&& ≤
极限压力，kPa 分压&&& ≤全压&&& ≤
2×10－5 2×10－4
2×10－5 2×10－4
2×10－5 2×10－4
注：极限压力为保证项目,每批必须检测,必须用双级双优真空泵作为试验用泵。
1.3.5 HFV-A系列高真空油性能质量指标
表16.12& HFV-A 高真空油性能质量指标 Q/NHAI4-2004
型号&& (DVF)
粘度等级（GB3141）
运动粘度(40℃)，mm2 /s
41.4～50.6
61.2～74.8
粘度指数&&&&&&&&&&&& ≥
闪点(开口)，℃&&&&&&& ≥
倾点， ℃&&&&&&&&&&& ≤
酸值， mg koH/g&&&&& ≤
色度， 号&&&&&&&&&&& ≤
残炭， %&&&&&&&&&&& ≤
水分，&&&&&&&&&&&&&& %
水溶性酸或碱
腐蚀试验 (铜片,100℃,3h)级&&&& ≤
抗乳化度 (40-40-0)ml,min 54℃&&&&&&&&&&&&&&& ≤82℃&&&&&&&&&&&&&&& ≤
泡沫性 (泡沫倾向/稳定性)(ml/ml) ,≤
24℃ 93.5℃ 后24℃
80/050/060/0
80/050/060/0
80/050/060/0
饱和蒸汽压,kPa 60℃&& ≤
极限压力，kPa 分压&&& ≤全压&&& ≤
2×10－5 2×10－4
2×10－5 2×10－4
2×10－5 2×10－4
注：极限压力为保证项目,每批必须检测,必须用双级双优真空泵作为试验用泵。
1.4 国外真空泵油质量标准
国际标准化组织ISO/TC28/SC4(石油产品分类和规格分类技术委员会)与ISO/TC118压缩机技术委员会共同开展了D组(压缩机)油分类和规格工作，目前发表了真空泵油分类标准(根据泵的类型、真空度和有无腐蚀性气体进行划分)ISO6743/3A―1987，遗憾的是没有制订产品标准。根据科技情报中心查询结果表明，发达国家也无相关产品的国家标准，唯一可以用来参照的是发达国家的企业标准，但企业标准不对外公开。目前唯一可查询的是国外先进企业的产品样本。从已搜集的仅有不多的样本来分析，不外乎两个领域。一是石油行业，样本中的重要指标大多数不介绍(见表16.13)；二是真空行业，样本中介绍的略为详细(见表16.14)。
表16.13 石油行业真空泵油国外样本指标及实测数据
表16.14& 国外真空行业泵油样本指标及实测数据
注:1、表1、表2的部分数据摘自国外企业样本； 2、实样测试结果是来源于大连石化研究所的测试依据； 3、其中EDWARDS样本中提到在原泵油基础上进行了改进、用超级15，超级19、超级20代替原先牌号。
1.5真空泵油的选用
1. 5.1制氧/微电子系统用真空油的选型
全氟聚醚油，英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成，属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A―1987\DVB、DVD、DVF类油品.该油品碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定，具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当受到电子或离子轰击时，不产生聚合物，不与活性气体反应，具有优良的氧化安定性，热稳定性、化学试剂的惰性和不燃性。具有优良的抗臭氧、能够在VF6、F、PH3、AsH3及其它卤素化合物（BF3、BCI、PCI3、TiCI4、SnCI4、 SiCI4）等酸性气体存在的环境中保持稳定。甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的油品比较可在长时期内保持优良的性能
该类油品为无色透明的液体，密度较大(可达1.95g/cm3 ,20℃时) 、粘度指数高、表面张力低、折射率低、倾点低。可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合。
国外的品牌如：意大利蒙特迪生Fomblin oil的YL-VAC、YH-VAC；法国阿尔卡特Alcatel 113；英国爱德华公司Krytox 1506、1514、1525；Fomblin 06/6、16/6、25/6；德国Leybold HE-1200、HE-1600、HE-2700；日本真空R-90、R-95油等。国内生产全氟聚醚油目前有重庆一坪，长城石化。
表16.15& 全氟聚醚油的典型理化性能指标 (据Fomblin&资料)
蒸汽压/kPa20℃ 100℃ 150℃ 200℃
2.5×10-93.9×10-49.1×10-37.7×10-2
― ― ― ―
― ― ― ―
10.6×10-101.3×10-5
10.6×10-1110.6×10-7
运动粘度/(mm2/s) 20℃ 100℃ 150℃ 200℃
130327.4―
190― 92.0
285― 122.6
密度(20℃)/ g/cm3
比热容/[J/(g?℃)]
热导率(20~150℃)/[W/(m?K)]
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
粘均相对分子质量
蒸发热(1.3KPa，200℃)/(J/g)
馏分范围(10%~90%，53Pa)/℃
沸点(13Pa)/℃
挥发度(22h，145.9℃)(%)(质量分数)
表面张力(25℃)/(N/m)
2.0×10-2&l,, /SUP, ,,
&&a,, l,,,,, o:, p,&,, ;&, , /o, :p&,
折射率(n020)
用途:FomblinYL- VAC06/6 (相当于VG22)，主要用于润滑涡轮分子泵轴承FomblinYL -VAC014/6 （相当于VG46）、YL- VAC25/5(相当于VG100)，可用于超净和安全的真空系统，如扫描发射电子显微镜、质普仪、粒子加速器、有腐蚀性气体的微电子真空系统。FomblinYH-VAC 18/8、25/9主要用作扩散泵工作液。
1.5.2工业流水线上真空泵油的选型
&&& 快速达到极限直空也是一些特定应用场合提出的要求，一般通过抽气速率和可靠性来衡量这一使用性能。流水线上使用的真空泵油一般要求比较苛刻，因它受达到真空的速度、使用寿命、使用环境、使用气体、高温高压、频繁大气状态等不可知因素的影响太大，为此使用ISO-6743A―1987\DVD、DVE、DVF的真空油品比较合适。如HFV-M，HFV-A系列真空油。运动粘度应选择在VG32、46、68范围。
如在彩管行业中显象管蒸铝小车流水线运行一圈，共为5分钟。从装显像管到直联式旋片泵抽真空1分钟内全压力必须达到&5*10-4kPa；再直接启动高真空扩散泵至10-2～10-3Pa后开始蒸发镀铝；结束后再卸显像管；周而复始。每一环节如不能达到相应指标就会影响下一道工序。直联式真空泵全压力进入5*10-4kPa一般是能够做到的，但在1分钟要达到指标，就需对真空泵及真空油品的抽气速率和可靠性会提出更高的要求。
1.5.3制冷系统用真空油的选型
1) 绿色、环保用真空油
&&& 绿色、环保是世界发展进程中人们日益关注的课题之一，《蒙特利尔公约》 规定2010年在世界范围内废除CFC制冷剂而改用HFC134a制冷剂，后者作为环保产品，与矿物油不能相溶。据杜邦公司资料介绍，在压缩机内存有微量的矿物油会引起制冷效果的显著下降，产生絮凝现象。
&&& HFV-ZS真空泵油作为绿色环保产品应运而生，它的生物降解能力大于98%。HFV-ZS真空泵油适宜在R134A、R507、R404A、R407C、R410等致冷媒体中使用。它的不足之处在于，由于其分子结构的特点，决定其极易吸收大气中的水分。作为真空泵油使用则存在一定的局限性。当空气湿度大，水分被吸入真空泵油中，就会出现真空泵制造商在生产调试时极限真空能达到规定的技术指标，而用户使用时达不到真空度要求的现象。解决这一问题的办法就是提高真空泵的本体温度，通过真空泵的自排气(物理蒸发原理)将油品中的水分去除而使真空泵达到需要的真空。产品使用质量等级为ISO-(DVD)。
表16.16& HFV-ZS酯类真空油质量性能指标
蒸汽压/kPa20℃ 100℃ 150℃ 200℃
2.5×10-93.9×10-49.1×10-37.7×10-2
― ― ― ―
― ― ― ―
10.6×10-101.3×10-5
10.6×10-1110.6×10-7
运动粘度/(mm2/s) 20℃ 100℃ 150℃ 200℃
130327.4―
190― 92.0
285― 122.6
密度(20℃)/ g/cm3
比热容/[J/(g?℃)]
热导率(20~150℃)/[W/(m?K)]
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
(8.8±0.4) ×106
粘均相对分子质量
蒸发热(1.3KPa，200℃)/(J/g)
馏分范围(10%~90%，53Pa)/℃
沸点(13Pa)/℃
挥发度(22h，145.9℃)(%)(质量分数)
表面张力(25℃)/(N/m)
折射率(n020)
2) HFV-WS高低温真空泵油
HFV-WS高低温真空泵油能用于全密式和半密封式压缩机系统。它能用于制冷剂如：R600a、R290、R717、R408A、R401A/B、R402A/B、R22、混合物的使用，以及与丙烷、异丁烷一起使用。产品质量等级为ISO-(DVD)
由于在零下30度和零上100度范围内保持优异的使用性能，对于野外作业环境温度变化大的场合也较为适用。该油品由于合理的化学组成，也能在氮、氨、氢、氦、氩、二氧化硫等气体中使用，同时，该润滑性、抗氧性也较强，可用于单级泵。
表16.17& HFV-WS真空油质量性能指标
3)制冷业用单级真空泵油
单级真空泵用于制冷行业的较多，由于单级真空泵使用温度偏高，摩擦功较大，这与泵冷却性、油品流动性能，泵启动容易等有关。单极小型真空泵的转速越高，泵部件加工精度越高，使摩擦件的间隙越小，因此，选择真空油的油品粘度也相应越低。在保证真空密封和润滑的条件下，粘度越小，冷却效果越好，反之，选择粘度较大的真空泵油，即使真空泵油技术级别相同，也会因摩擦副表面线速度较高，产生动力消耗增大，油温升高，易破坏油膜，造成降低真空等弊端。
单级真空泵用的真空泵油使用黏度在VG22、32、46较合适；质量等级为ISO-中的DVB、DVC、DVD真空泵油。
4)压缩机流水线和中央空调系统用油
&&& 压缩机流水线上的真空泵应用于压缩机排气和注入致冷介质，真空泵油的使用主要根据致冷介质来选型。
&&& 用于制冷剂如：R600a/R290、R717、R408A、R401A/B、R402A/B、R22、混合物的，真空泵油应选用HFV-WS高低温真空泵油，粘度VG22、32、46、或SH产品质量等级为(DVC、DVD、DVE)的油品。在R134A、R507、R404A、R407C、R410等致冷媒体中适宜使用HFV-ZS真空泵油。
1.5.4 在蒸汽处理真空系统
在电工产品如变压器、互感器、电机、电缆的真空浸渍干燥的工艺过程中，要求真空系统在某一特定压力下能抽除一定量的水蒸汽和溶剂。如一台中型变压器，其中绝缘材料的含水量高达400~500kg，整个干燥周期为70小时。要求真空系统在45mbar的入口压力下，在48小时内抽除90~95%的含水量，即每小时抽水蒸汽的能力要在15公斤左右，而且在干燥结束后仍然恢复到原有的极限压力10-2mbar。根据上述情况应选择真空泵油使用粘度在VG100、150较合适；质量等级为ISO-中的DVB、DVC、DVD真空泵油。
1.5.5 抽除大容器和大排气量的真空系统
在许多化工、制药等行业的真空蒸馏、浓缩、脱水、干燥的工艺过程，不但要求真空系统具有抽水蒸汽和可凝性气体的能力，还要求真空系统能维持在某一压强下运行。应选择油水分离能力强,氧化和耐热性能优越的真空泵油。使用粘度在VG100、150较合适；质量等级为ISO-中的DVB、DVC、DVD真空泵油。
1.5.6真空镀膜行业
工业镀膜的目的是根据应用要求改变材料的性质，也就是通过镀膜提高基材的性能。随着原材料资源不断减少和价格的提高，在世界范围内对镀膜技术的需求越来越高。镀膜的质量取决于膜的纯度 (真空度越高，膜的纯度越高)只有将镀膜腔内所有的气体全部抽除才能保证膜材不与环境物质发生反应。真空是最好的方法!
&&& 在真空镀膜行业，一般不会对前级真空和抽气时间提出严格的要求，只要达到要求的真空度就可以工作，但生产一炉产品的时间间隔却长短不等，有5-10分钟，有时需30分钟甚至1个小时，前级泵机组抽真空的时间较长，再启动高真空扩散泵。生产成品时间的加长就等于浪费能耗，浪费工时，减少产量，增加综合成本。如果使用真空性能优良的油品，到达真空快，抽气速率高，则既缩短了工时和能耗，又增加了产量，不仅节约了时间成本，也节约了生产成本，从而提高了企业经济效益。上述行业使用SH中DVC、DVD类一级品、优级品真空油比较合适。油品粘度选择范围：VG100、VG150、VG220。
1.5.7 频繁进出大气状态的场合
&&& 真空机组在频繁大气状态中是判断真空油品在氧的作用下抵抗氧化变质的能力，它是影响油品使用寿命的重要指标。如：输送行业，在真空成型过程中，真空要求不是很高，大气间断式进入泵体，进而对真空泵油产生热氧化作用。
镀膜行业中，在连续卷绕镀膜状态中(从大气→大气)。如大型连续卷绕镀膜机组，前级泵为EDWARDS，H型滑阀泵作直排大气约120～130℃，然后通过数套真空机组和隔离式真空室达到高真空镀膜要求后，再逐渐衰减真空通氮气冷却，最后在130-150℃夹带着热蒸汽进入大气。上述工作状态非常恶劣，选用的真空泵油黏度在VG68、100、150较合适；质量等级为ISO-中的DVB、DVD真空泵油。
1.5.8冷冻干燥
凡属抽水蒸汽的场合均对油品的抗乳化性有较高要求，如制冷、食品、医药、干燥等行业。抗乳化性能反映润滑油的油水分离特性。油水分离(即破乳化)的时间越短，表示油品抗乳化性能越强。对于冷冻干燥行业的工作状态，选用的真空泵油粘度应在VG68、100较合适；质量等级为ISO-中的DVB、DVD真空泵油。
1.6真空泵油的使用事项及换油期限
1.6.1真空泵油的保管和使用注意事项
油品储存：
&&&&& 1. 不可直立放于露天环境，以防止水份及杂物的入侵污染。&&&&& 2. 室内储存可立放，桶面朝上，方便抽取。&&&&& 3. 拧紧封口盖，保持油桶密封。&&&&& 4. 保持桶身面清洁，标识清晰。&&&&& 5. 保持地面清洁，便于漏油时及时发现。&&&&& 6. 做好入库登记，先到先用。&&&&& 7. 频繁抽取的油品、放置在油桶架上用开关控制流放。&&&&& 8. 新油与废油分开放置，装过废油, 的容器不可装新油，以防污染。
, 油品安全：
&&&& 1.油品独立存放，周围不得放置可燃品。&&&& 2.严禁烟火，不得携带火种进入油库。&&&& 3.配备不少于二个灭火器。&&&& 4.擦试机械后之油布或清除之油污不得堆积， 以免助燃。&&&& 5.易燃的特种油品或化学溶剂分离储存并放置易燃品标志。
使用注意：
1. 向润滑油专家咨询，用适当规格的润滑剂，尽量减少用油种类。 2. 各机械用图样示出需要加油的部位，油品名称、加油周期等由专人负责，避免用错油品。 3. 每次加油前须清洁擦拭油抽、油壶等容器和工具。&&& 4. 每种用油专用的容器，且在容器上注明盛载油品的名称，以防污染。&&&& &&&&&&& &5. 换油前须将机械用溶剂冲洗干净，切不可用水溶性清洗剂。&&&&&&&& 6. 每次添加或更换润滑油后，做好机械保养记录。&&&&&&& &7. 发现油品异常或已到换油周期，应抽样交由专业公司化验决定。
环保和健康：&&& 1. 严禁将废油直接排入水沟倒入土壤，以防污染环境。&&&&&&&&& &&& 2. 废油废液专桶收集，再交由政府许可的回收商回收，切不可乱倒。&&&& &&& 3. 皮肤过敏者或划擦伤者，应避免直接接触润滑油。&&&&& &&& 4. 切勿穿着油迹渗透的衣物，不可将被油污染的碎布置入袋中。&&&&&&
&&& 5. 不可用污浊布碎抹去皮肤上的油迹，以防布碎中藏有金属碎屑可擦伤皮肤引发感染
1.6.2 真空油的代用及混用
& 因油品供应不及时或市场上缺乏合适的品种等因素，真空油在使用过程中有时会发生油品代用、混用的问题，包括国产油与国外油、国产油中不同类型的油、同一类油不同生产厂或不同牌号、新油与使用中的“旧”油混用等等。
&&& 目前有不少用户在选择代用油品或混合使用润滑油时随意性较大，但须知不同种类的润滑油，其物理和化学性能是不同的，其化学成分、粘度、酸值和各种添加剂(抗磨剂、防腐剂、抗氧化剂、防锈剂)等主要成分和指标直接影响机件的运行，如果混合使用，其性能将会改变，这不仅关系到机件的使用寿命，有时甚至会因润滑不当而引发事故。因此在代用油品或混用油品时应遵守下列原则，谨慎选用:
1)润滑油的代用原则&& 1. 尽量用同一类油品或性能相近、添加剂类型相似的油品代用。&&&
2. 粘度要相当，代用油品的粘度以不超过原用油粘度±25%为宜。一般情况，应优先考虑粘度稍大的油品进行代用。
3. 质量以高代低，即选用质量高一档的油品代用，这样对设备润滑比较可靠。同时，还可延长使用期，经济上也合算。
4. 选用代用油时还应注意考虑设备的环境与工作温度。对工作温度变化大的机械设备，代用油的粘温性要好一些；对于低温工作的机械，选择代用油的凝点要低于工作温度10℃以下；而对于高温工作的机械，则要考虑代用油的闪点要高一些，氧化安定性也要满足使用要求。
2)润滑油的混用原则
1.不同种类牌号、不同生产厂家、新旧油在一般情况下应尽量避免混用。 2.在下列情况下，油品可混用:&&&
&(1)同一厂家同类质量基本相近产品，或高质量油混入低质量油仍用于原使用的机器设备；
(2)同一厂家同种不同牌号产品在需要调整油品的粘度等理化性能时可以混用；
& (3)不同类的油品，如果知道两种对混的油品都是不加添加剂的，或其中一个是不加添加剂，或两油都加添加剂但相互不起反应的，一般可以混用，但对质量高的油品来说质量会有所降低。空泵油与其它合成真空泵油互换时，应将泵拆开作彻底清洗。包括各零部件均须浸渍在更换的油内以防污染。
真空泵应尽量避免抽除溶剂，水蒸气和有腐蚀性气体等，如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。换油时应将泵体内使用过的油品排尽，将新油倒入后缓缓转动泵轴，清扫泵腔排尽残油，重复清洗数次，等洗净后换入新油。泵大修时必须用溶剂或清洗剂将泵的各部件清洗干净，并将部件烘干。加油用具必须有是专用设备，不应是盛过其它油品或溶剂的容器抽泵。
1.6.2 润滑油变质的鉴别和换油
润滑油在使用一段时间后，由于机械杂质的污染和来自外界的灰尘，运转机件磨损下来的金属屑以及零件受侵蚀而形成的金属盐，使润滑油变质。润滑油变质后呈深黑色、泡沫多并已出现乳化现象，用手指研磨，无粘稠感，发涩或有异味，滴在白试纸上呈深褐色，无黄色浸润区或黑点很多。若不及时更换会加速零部件的磨损，影响使用寿命，甚至发生安全事故，因此，经常检查润滑油是否变质并及时更换尤为重要。几种简易鉴别方法，介绍如下：
1)油流观察法：取两只量杯，其中一个盛有待检查的润滑油，另一只空放在桌面上，将盛满润滑油的量杯举高离开桌面30-40厘米并倾斜，让润滑油慢慢流到空杯中，观察其流动情况，质量好的润滑油油流时应该是细长、均匀、连绵不断，若出现油流忽快忽慢，时而有大块流下，则说明润滑油已变质。
2)手捻法：将润滑油捻在大拇指与食指之间反复研磨，较好的润滑油手感到有润滑性、磨屑少、无摩擦，若感到手指之间的砂粒之类较大摩擦感，则表明润滑油内杂质多，不能再用，应更换润滑油。
3)光照法：在天气晴朗的日子，用工具将润滑油撩起，与水平面成45度角。对照阳光，观察油滴情况，在光照下，可清晰地看到润滑油中无磨屑为良好，可继续作用，若磨屑过多，应更换润滑油。
4)油滴痕迹法：取一张干净的白色滤试纸，滴油数滴在滤试纸上，待润滑油渗漏后，若表面有黑色粉末，用手触摸有阻涩感，则说明润滑油里面杂质已很多，好的润滑油无粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黄色痕迹。
换油原则 1)当真空下跌，真空泵油满足不了需要时； 2)当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油； 3)油品酸值达到2.0mgKOH/g时,应考虑更换新的油品。
2 油蒸汽流泵油
&&& 油蒸汽流泵是以油作为工作介质，获得中真空和高真空的主要泵油。按照工作压力范围的不同，分为油扩散泵和油扩散喷射泵两类。
一般油扩散泵最佳的工作范围( 10-1-10-4Pa)、 油扩散喷射泵(增压泵)的最佳工作范围(10～10-1Pa)。
2.1增压泵油
2.1.1油扩散喷射泵原理
油扩散喷射泵工作原理同喷射泵和扩散泵一样，也是利用高速的蒸汽流来抽气的，所不同的是综合了这两种泵的工作特点，既有喷射泵的拉瓦尔喷嘴，又有喷射泵的喷射喷嘴。因而蒸汽流抽气原理不仅有携带抽走气体分子的作用，而且还有扩散抽气作用。
油扩散喷射泵不能单独工作，其实用工作抽气范围10～10-1Pa需要用油封机械泵作前级泵抽到133.3Pa的预真空才能正常工作。
2.1.2增压泵油的特性
采用精制矿物油馏分润滑油料，再经分子蒸馏切割成窄馏分，并经硫酸铝吸附、真空脱气制得。
2.1.3增压泵油质量指标
本规格为大连石化公司Q/SH011-015-1994中规定的技术标准
表16.18& 增压泵油技术指标
适合于润滑各中场合的增压泵，如真空冶炼、塑料连续喷镀金属、真空蒸馏及低密度风洞装置等抽气设备。
2.2惠丰HFV-Z增压泵油
本产品由分子量较大的烃类基础油经分子蒸馏,并加入多种添加剂制备而成。本品化学性能稳定，技术性能与国外同类产品相当。
2.2.1 HFV-Z增压泵油性能 良好的氧化安定性和化学稳定性； 极高的抽气速率； 极低的饱和蒸气压和较大的分子量。
本产品最大的特点是能满足泵的抽气需要和真空稳定度极好.
2.2.2 HFV-Z增压泵油用途
适用于各种增压泵的工作液;被广泛应用于冶金、化工、电力、真空镀膜、轻纺、医药、航空等工业领域。
适用于真空冶炼、塑料连续喷镀金属、真空蒸馏及低密度风洞装置等的抽气设备;为充分发挥其真空性能，须在最佳加热功率下使用。
2.2.3 HFV-Z增压泵油质量性能
表16.19& HFV-Z 增压泵油质量性能指标& Q/NHAI5-2004
3 油蒸汽流泵(扩散泵)
&&& 高真空油扩散泵是在室温下饱和蒸汽压很低的矿物油型扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管，喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
3.1矿物油型扩散泵油的选用
采用深度精制、溶剂脱蜡所得基础油，再经分子蒸馏切割成窄馏分，经硫酸铝吸附真空脱气制得。具有较低的饱和蒸气压和极限压强，热稳定性和化学稳定性良好，挥发性低，返流量小。
3.1.1矿物油型扩散泵油的特性&&
1)较低的饱和蒸汽压，油蒸汽遇到冷壁后能迅速冷凝成新的工作液；
2)馏程窄，分子量大，抽速大，当油加热到沸点后，能迅速产生大量生产油蒸汽，高速喷射出蒸汽流，带走被抽气体；
3)化学组成合理，具有良好的氧化安定性和热安定性；
4)HFV-K150返油率极低,在经常处于200℃工作温度时和在金属催化作用下不易氧化。&3.1.1 矿物油型扩散泵油的质量标准(取代SY1635-66)
石化行业标准SH规定的技术指标如下。
表16.20& SH矿物型扩散泵油质量标准
3.1.3矿物油型扩散泵油的用途&& 用于各种类型的玻璃和金属扩散泵，扩散泵油主要用于高真空扩散泵。并可根据到达压力的范围能充分选择不同分子量的扩散泵油。
适用于在高真空蒸馏、真空冶炼、真空镀膜、真空熔炉；航天、电子工业及原子能工业等领域应用，以获得高真空环境。
对于真空度要求高的场合，宜选用100或68号油。真空系统析出气体较多，容易使扩散泵氧化污染的场合，可选用46或68号油。各牌号油均可用作直联高速真空泵油使用 (仅限于DVC、DVE) 。
3.2合成油型扩散泵油
&&& HFV-KS 275扩散泵硅油以无机硅氧键为骨架，在硅原子上直接连接有机基团的有机硅化合物。
&&& 该产品具有极优良的热安定性和氧化安定性，使油品的蒸气压与泵的极限压强数值接近。当真空系统突然泄漏，大量空气冲击下，仍能保持原有的真空特性。因此，非常适于超高真空扩散泵的使用。
3.2.1合成油型扩散泵油特性
&&&& 1)饱和蒸汽压随温度变化较小，在常温下蒸汽压极低，极限真空度可比矿物油型扩散泵油的极限压力提高两个数量级；
2)优良的热安定性，耐高温, 在经常处于200℃的工作温度和在金属的催化作用下不易氧化；
&&&&&&&&&3)在抽气速率和返流率方面显示出良好的性能；
&&& 4)较矿物油型扩散泵油具有极佳的氧化安定性，在与大气接触时不易氧化；
&&& 5)能够抗磁场放射线的辐射并具有难燃性。
3.2.2合成油型扩散泵油用途
&&& 1)本产品适用于油扩散真空泵。HFV-KS扩散泵硅油广泛用于真空镀膜、蒸馏、冶炼、熔炉、电子、航天、核工业、仪表等行业所用扩散泵的工作液，
&&& 2)可作为高温热载体以及仪表中的传递液；
&&& 3)可作为电子、航天、核工业等行业要求超高真空的扩散泵工作液。
3.2.3合成油型扩散泵油质量标准
表16.21 合成油型扩散泵油质量标准
.3.3扩散泵油的使用注意事项&&&& 1.取油或装油时，桶盖周围的尘土必须除尽，防止杂物混入油中，引起泵磨损，加油工具要专用，不能使用盛过其它油品或溶剂的容器;
&&& 2.不同牌号、品种的扩散泵油不宜混用，新、旧油品不能混用;
&&& 3.在油扩散泵中,由于高温,金属催化作用以及油爆式沸腾,使高分子的油裂化成低分子化合物及轻的气体,裂化后的化合物蒸气压很高,限制了扩散泵的极限真空,此时就要考虑更换新的油品;
&&& 4.扩散泵油的油扩散泵的极限压力影响极大,而油扩散泵对真空度的要求较高，每次更换油品时应对泵腔进行维护,清洗不干净,污染物质会留在泵内并重复循环,对泵的极限真空造成破坏,换油时扩散泵必须彻底清除残液,用馏程为60～90℃的石油醚洗净后，干燥备用。
油扩散泵的常见故障及原因：
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;
1)极限真空变低，原因：
a.系统中有渗漏； b.系统太脏； c.泵油污染； d.加热功率不够； e.冷却水不足； f.过量或过冷的冷却水； g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象； h.快冷管内有水。
2) 抽气较慢，原因：
a.加热功率低； b.油量不足； c.喷帽安装位置不当或受损。
3)进口压力波动，原因：
a.加热器输入功率不当； b.油脱气； c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4)工作腔污染大，原因：
a.前级压力高； b.在高于10-1Pa压力下长期工作； c.系统操作有误。
5) 返油率过大，原因：：&&& a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；&&& b. 加热功率不对
扩散泵油的返油图解
&,nb, ,&, /SPAN&g, 扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流；返流是扩散泵系统的主要污染！
因此，为了减少返流，在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置；例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同时泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是，捕集返流的效率越高，对泵抽速的影响就会越大；例如：一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置，可能会使抽速降低30% ！
4 真空密封油
HFV-MF系列真空密封油亦称中心阀油,以石油馏分油为原料,经溶剂脱蜡,分子蒸馏萃取窄馏分后,加入多种功能添加剂制成。
HFV-MF系列真空密封油按照40℃运动粘度的中心值分为150、220、320、460、680、1000六个牌号，可满足国内外机械设备的真空密封需要。
4.1真空密封油的特性
1. 良好的氧化安定性和化学稳定性； 2. 热安定性良好,在较高的工作温度下,保持真空度； 3. 耐水密封性能、抗溶剂性能及电性能较好； 4. 较低的饱和蒸气压和较大的分子量。
4.2真空密封油的用途
1. 适用于对油封金属接触式真空阀或中心阀的润滑和密封；
2. 适用于金属与金属研磨面的密封与润滑，活动的金属部分浸渍在密封油中,如接触式真空阀或中心阀,广泛使用于照明和其它行业。
4.3真空密封油的质量标准
表16.22& 真空密封油的典型数据
5 真空淬火油
真空热处理是工件在10-1-10-2Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不同冷速进行冷却的热处理方法。真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。真空热处理的零件具有无氧化，无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好（重复性好，寿命稳定）等一系列优点。
5.1 真空淬火油的特性
1.该产品采用精制基础油，添加催冷、抗氧、光亮等优质添加剂调制而成。产品符合SH标准。有较低的饱和蒸汽压，蒸发量较小，不污染真空炉膛及真空操作效果；& 2.冷却性能稳定，在真空条件下，能保证淬火后工件淬硬效果好；& 3.有良好的光亮性，淬火后表面清洁光亮，无氧化、无污染；& 4.氧化安定性好，使用寿命长。
5.2 真空淬火油的用途
&&& 本产品适用于轴承钢、工模具钢、大中型航空结构钢以及其它钢材的淬火。具有饱和蒸气压低、冷却性好、工件淬火后表面光亮等特点。使用温度：1号为20～80℃，2号为20～110℃。 本产品可与美国HAYES H-1、H-2真空淬火油互换使用。&5.3 真空淬火油的质量指标5.3.1 惠丰 HFV-CZ真空淬火油质量指标
表16.23& 真空淬火油技术要求
5.3.2美国C.I.Hayes公司真空淬火油质量指标
表16.24& 美国C.I.Hayes公司真空淬火油质量指标
5.4真空油淬时注意的几个问题
1.真空油淬压力填充纯N2 40kPa - 67kPa。 2.淬火油量：工件：油重量& 1：10~15，油池比油与工件体积之和大15~20%。 3.油中不许有水分。当达0.03%时，工件变暗；0.3%时，冷速明显变化。 4.真空淬火油的调制。 5.工件入油前应充分脱气。 6.油温在60~80℃使用。 7.油应有搅拌。静止油冷却强度为0.25~0.30；激烈搅拌油冷却强度为0.8~1.1。 8.真空油淬时的高温瞬时渗碳现象。 9.真空泵、油增压泵、油扩散泵返油的影响。
6 真空密封脂
6.1真空密封脂的特性
1.HFV-高低温真空密封脂由无机稠化剂稠化硅油在高真空中蒸馏与脱气，制取蒸气压极低,分子量较大的基础油并加入多种添加剂制备而成。该产品化学性能稳定，技术性能与国外同类产品相当。良好的高低温性能；
&&& 2.良好的氧化安定性和化学稳定性；
&&& 3.耐水密封性能、抗溶剂性能及电性能较好；
&&& 4.极低的饱和蒸气压和较大的分子量。
6.2真空密封脂的用途&
1.适用于真空不大于2×10-9KPa真空设备系统所有连接部件的润滑和密封； 2.适用于有溴水及其它化学介质存在下的润滑和密封； 3.可拆卸法兰、活栓、玻璃拷克、接头等低速滑动部位的润滑和密封； 4.橡胶与金属间的润滑和密封； 5.使用温度范围为-50℃～300℃。&6.3真空密封脂的质量指标
表16.25& 真空密封脂的质量指标
7 分子泵油&, /S, PAN&, ;&, /P&
分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。
&&&& 1) 分子泵有三个类型：牵引型分子泵, 涡轮分子泵, 复合型分子泵,按制造结构分类:油润滑、脂润滑、磁悬浮--单磁永磁悬浮、全磁悬浮。
&&&& 2) 分子泵的特点
连续抽除气体,节省能源,可获得清洁的真空
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。
&脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。 全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。
7.1 分子泵油的特性
1.有极低的饱和蒸汽压，使设备能迅速获得较好的极限真空； 2.优异的低温性能，在高低温状态下操作性能优良； 3.优良乳化特性和油水分离性； 4.良好热安定性,在长期高温摩擦状态下能保持良好的使用性； 5.优良的润滑性，泵启动容易，能耗低，使设备减少磨损保持清洁。
7.2 分子泵油的用途
工业工艺过程(装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空炉排气)科研、军工装备仪器、设备半导体工业。制灯，玻璃镀膜，柔性太阳能电池设备：在电子、电力、真空设备、低温容器、压力容器等领域都会用到分子泵和检漏仪。
7.3 分子泵油的质量指标
表16.26& 分子泵油的指标
7.4分子泵油的更换和维护
1) 为保证分子泵轴承有良好润滑，应定期更换润滑油。
分子泵润滑油是一种低饱和蒸汽压的专用润滑油，应使用厂家指定的润滑油。不得使用其他润滑油替代。
2)润滑油更换时间
对于油润滑分子泵，在初次使用2000小时左右，建议更换润滑油。以后每运转半年时间左右进行一次更换。
&&& 对泵体经常烘烤、工作气载大、气体中含有悬浮颗粒等使用情况下，建议缩短更换时间。
3)润滑油的用量
&&& 不同泵型润滑油用量不同，一般说明书中会给出润滑油用量说明。分子泵油杯上有刻度。
8 真空用润滑油(脂)技术问答
8.1如何评价润滑油效应
“工欲善其事、必先利其器”。如果说设备是人体，那么润滑油就是血液；设备是硬件，那么润滑油就是帮助硬件发挥特长的软件，所以润滑油可以说是设备的后盾。
现代企业管理，无非是围绕“科技、诚信、高效、低耗”做文章，从何着手去做才是关键：
1.科技：生产高科技的产品，离不开高科技的设备。突出时间效率，也离不开高科技的设备，而高科技的设备需要品质优秀的润滑油支持。
2.诚信：诚信的重要部分就是按约定时间向顾客提供合格的产品，由此体现企业诚信与实力，而优劣润滑油直接决定着“人主宰设备”还是 “设备主宰人”，使用劣质润滑油很容易使您因抢修设备而延误产品的约定交付时间。
3.高效：设备是实现高效的重要条件之一，而频繁的设备抢修与检修是高效的天敌，如何消灭及削弱天敌的干扰，就得通过科学的管理和使用品质优秀的润滑油来配合实现。
4.低耗：低耗的含义是广泛的，比如说：设备磨损的低耗；维修设备用工用料的低耗；因生产流水线突然故障造成操作工人无序停工的低耗；乃至单位里程内用油成本的低耗。
8.2 同种类、同粘度级的进口与国产真空油可以随意混合使用吗？
一般不能。因为尽管两种真空油的种类和粘度完全相同，但两者的化学组成不明。进口油用的是国外添加剂，国内油、外油混到一起后，添加剂间是否会产生沉淀，作用是否会相互抵消不得而知。因此，面对这种情况处方有二：
一是先做互溶储存稳定性试验，并测试其互溶后主要性能，再抉择；
二是放净设备中的旧油液，用新装油(液)冲洗干净系统，再注入新油(液)运行。
典型的气体抽空各阶段:
• 开始抽空阶段• 粗真空阶段• 高真空阶段&&&&&&&&&&&&& • 超高真空阶段
真空的特性(各压强下的主要成分)：压强(torr)&&&&&&&& 主要气载Atm.&&&&&&&&&&&&&& 潮湿的空气10-3&&&&&&&&&&&&&& 水蒸气 (75%- 85%)10-6&&&&&&&&&&&&&& H2O, CO 10-9&&&&&&&&&&&&&& H2O, CO, N2, H210-10&&&&&&&&&&&&& CO, H210-11&&&&&&&&&&&&& H2
8.3真空油的分析评定手段有哪些？
1. 四球机试验 采用GB／T 3142及SH／T 0204标准方法。4个直径相同的钢球，其中3个浸在装有试油的油盒中，上面一个固定并与下面3个构成点接触。在一定的温度、负荷、转速下旋转。根据负荷、磨迹、烧结点测定试油的极压性和抗磨性。一般来说，磨迹直径与齿轮实际使用中的磨损有一定的相关性。 2. 饱和蒸汽压试验
&&& 采用SH/T0293标准方法。饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相达到动态平衡时，汽相所具备的压力称谓饱和蒸汽压。在60℃温度条件下至少要达到6.5×10-8Kpa因温升每上升20℃，饱和蒸汽大约要下跌一个数量级)。
3. 极限压力试验。
极限全压强:采用GB/T 6306.2标准方法。由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵所有物质(气体)产生压强的总和。据了解，国外目前重视全压强的测试指标。好的泵油一般均能测到0.5×10-4Kpa。
极限分压强：用水银压缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa。
极限全压强与极限分压强差值要求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，真空泵油中含有的挥发成分就越多，油品的性质就越差。
&&& (注：不管测定饱和蒸汽压，极限全压强、极限分压强均采用双级优级真空泵作为试验泵。)
, , 4. 热氧化安定性试验。
分别采用SH/T 0123和美钢200标准方法。试验时在特制的玻璃管中加入300mL试油，分别在95℃和121℃下，以10L/h的速率向管内通人空气312h。以测得的试油粘度上升率表示试油的热氧化安定性。试验粘度上升率小，说明油品的使用寿命较长。
5. 抗乳化性试验。
采用GB/T 8022标准方法。在量筒形分液漏斗中加入一定量的试油和蒸馏水，特制的螺旋桨搅拌器在82℃下以2500或4500r/min的转速搅拌漏斗内容物5min。静置5h后测定自然分离水，离心分离水、乳化液、油中水的量，以几项结果评价试油的抗乳化性。
&6．粘度指数
粘度指数一般可以通过已知该油品的40℃、100℃、运动粘度，按GB/T1995或GB/T 2541法求得。需要说明的是，粘度指数只能表示润滑油从常温到100℃之间粘温曲线的平缓度，不一定能说明油品在更低温度下粘度特性。
通常人们凭经验认为“粘”度越“粘”真空度越好。其实并不如此，“稀”和“粘”是相对目测和手感而已，并没有定量数据。如在40℃时测出两只油品粘度值相同的话，当油品冷却到室温下，其中“稀”的要比“粘”的油好。因为“稀”的油粘度指数要比"粘”的高。粘的油随温度的变化而粘度变化也大，也就是粘度指数低，粘度指数是真空泵油的重要指标。粘度指数高的泵油其粘度与温度之间的变化较少。而且冷泵启动容易，有显著节约能耗作用，特别在夏季，随着环境温度和泵内油温的上升，该油极限压力能保持良好效果。
7．闪点
闪点也是真空泵油较重要的质量指标之一。它不仅是从易燃安全性能方面考虑的。而是闪点高往往轻质组分的油含量较少。因此当油温上升时，轻沸点的油分子不易挥发，能有效地保持极限压力。
8.4真空油失效的原因
(1)高温影响：真空油长期处在高温环境中，会氧化失效，出现变黑、变稠的现象；真空油内部的腐蚀物增加，如发动机工作中形成的酸性物质等；积炭、油泥、漆膜等物质增加。
(2)杂质：主要来源于空气中的尘埃、金属磨粒、渗漏物(水、杂油等)， 真空油氧化物以及燃料燃烧产生的物质等。
(3)添加剂失效：一些真空油因为其中的添加剂失效或耗尽而性能下降。例如真空油中的抗磨剂耗尽，会使抗磨性下降。
(4)粘度指数改进剂失效：因为其有机物分子长链断裂，不再具有改善粘温性能的作用。
(5)基础油失效：基础油是添加剂的载体，基础油失效则添加剂就不会发挥作用。
8.5润滑油有保质期吗?
&&& 润滑油的贮藏标准(国际)中对润滑油的保质期没有规定。润滑油的性能是比较稳定的，在阴凉干燥处密闭保存的润滑油的保质期是很长的。但是任何产品的都会受到存储条件的限制及环境、灰尘、温度、湿度等外部因素的影响。加上产品本身也会发生物理化学变化。因为普通客户无法了解润滑油在购买前的储存条件，为了安全起见，请不要使用超过4年保存期的油，它们要经过再次检测才能判断能否使用。
8.6真空油品的乳化与哪些因素有关？如何防止真空油的乳化？
真空油和水是互不相溶的两种液体，但在一定条件下，会形成稳定或不稳定的乳化液。在与水的接触中，油品乳化与否及乳化程度主要由真空油的组成成分及水的纯度、所含成分的性质决定，也与真空油-水体系的温度及震动情况有关。
以通常发生在油品中的乳化为例，当真空油或水中存在着某类既有亲油基又有亲水基的表面活性物质(如羧酸衍生物)时，它们会在温度及浓度适宜时，缔合在一起，形成致密的单分子层，将水包在其中。大量的缔合体均匀地分散在油中，就形成了油包水型乳化液。由此可见，控制油-水中表面活性物质的存在，破坏将水包在其中的表面活性物质致密的单分子层，是防止和抵抗两相共存体系乳化的根本途径。
&&& 以深度精制的基础油料调制真空油，对提高成品油抗乳化性能有重要意义，但真空油中含有各种功能添加剂(多为表面活性剂)，不可避免会影响真空油对水的分离能力。因而油品研制和生产人员在真空油中添加一定比例、具有特殊性状的破乳剂抑制这种影响，以保证真空油品具有良好的抗乳化性。
8.7真空油使用中温度超高是什么原因？
以真空油为例，温度超高的原因可能是：
&&& 1.新齿轮机构，没有磨合好，出现磨料磨损，引起磨擦面温度升高。此时应加强过滤，磨合期勤换油；
&&&&&& &2.真空系统负荷大，油膜破裂，出现磨损等失效倾向磨擦面温度升高。此时应根据载荷情况正确选油，提高粘度等级或选用高级别真空油；& &3.油位过高或粘度过大，增加了搅拌热，散热困难，油温与磨擦面温度同步上升。此时应降油位，选择适用的低牌号真空油。
8.8积炭是怎样形成的？
&&& 真空泵中积炭形成的原因比较复杂，就润滑油方面来说，主要是真空泵内部润滑系统用油常以雾状形式与高温、高压、高氧分压的空气和金属催化剂相接触，使润滑油迅速氧化变质。另一方面，油不断蒸发使较重组分的油残留在活塞顶部、排气阀腔和排气管道中不断受热分解，脱氢聚合。其产物与吸入气体中的机械杂质和真空泵内金属磨屑混在一起，沉积在机体表面上被进一步加热，即成为积炭。
8.9积炭的危害如何？
&&& 当真空泵在排气阀及排气管道处产生较多的积炭时，排气阀就会动作不灵活及关闭不严，造成排出气体倒流气缸并重复压缩(即二次压缩)，使气体温度迅速上升。高的气体温度又加剧了润滑油的氧化反应，而反应热又不能及时放出，使得排气管道内气体温度继续升高。不完全燃烧产物、油的热分解产物、气体中的油雾与空气组成了热气体，当温度达到润滑油的劣化极限时,会产生由积炭引起的真空泵定转子咬死和热油蒸汽压力对人的极大威胁。
8.10真空系统内如果混入了空气，会产生何种影响？如何处理？
&&& 在真空系统内如果混人了空气和溶解性的气体，将会在真空内产生不良的影响。空气或溶解性气体不仅促使油品氧化，加速真空泵在油与的化学反应和金属材料的腐蚀，且由于空气是不凝性气体，在真空循环系统还会引起异常的高温从而导致效果的降低。
&&& 防止空气混入系统的方法有：
对真空循环系统进行真空脱气，把真空系统内以及溶解于油中的空气排尽；严防空气从低压系统和轴封等不严密处渗入系统内。
8.11 什么是合成润滑油？与矿油型润滑油的区别是什么？
合成润滑油是通过化学合成方法制备成较高分子的化合物，再经过调配或进一步加工而成的润滑油。合成分为6类：有机酯、合成烃、聚醚、聚硅氧烷(硅油)、含氟油、磷酸酯。与矿物型润滑油相比具有以下性能：
1.具有较好的高温性能；合成润滑油比矿物油的热安定性要好，热分解温度、闪点和自燃点高，热氧化安定性好，允许在较高的温度下使用。
2.具有优良的粘温性能和低温性能
3.大多数合成润滑油比矿物油粘度指数高，粘度随温度变化小。在高温粘度相同时，大多数合成油比矿物油的倾点(或凝点)低，低温粘度小。
&&& 4.具有较低的挥发性。合成油一般是一种纯化合物，其沸点范围较窄，挥发性较低，因此可延长油品的使用寿命。
&&& 5.优良的化学稳定性。在国防和化学工业中具有重要的使用价值。
&&& 6.具有抗燃性
&&& 7.抗辐射性好。某些合成油具有较好的抗辐射性
&&& 8.与橡胶密封件的适应性
在使用合成润滑油时，应选择与这种合成油相适应的橡胶密封件。因为与矿物润滑油相适应的丁腈橡胶密封件，并不与多数合成油相适应。
8.12不同类型的润滑脂能否混合使用？
一般来说，应当尽量避免两种不同类型润滑脂混合使用，由于润滑脂的稠化剂、基础油、添加剂不同，混合后会引起胶体结构的破坏，导致混合润滑脂稠度下降，分油增大，机械安定性变差等，影响使用性能。
实际使用中，有, 时当, 两种润滑脂的混, 合不可避免时，需掌握以, 下原则：,, &, /o:p&
1．对同一厂生产的同类型、不同牌号的润滑脂可以相混合，混合后质量变化不大。但如果原来的润滑脂已氧化变质，因其内含有大量的有机酸和杂质，此时就不能与新润滑脂混合。所以在换润滑脂时，一定要将零部件上的旧润滑脂清洗干净后，才可重新加入新的润滑脂。
2．稠化剂相同、基础油相同的润滑脂基本可以相混合。一般来说复合锂基脂可以同锂基脂相混合，但混合脂的滴点仅体现为锂基脂的滴点。
3．含硅油、氟油的合成润滑脂一般不能同矿物润滑脂相混合。
4．若不了解两种脂是否可以相混，那就有必要请专业实验室进行两种脂的相容性试验，决定是否能混合
8.13 真空润滑脂在使用中质量会有哪些变化？如何判别？ 真空润滑脂在工作部件中由于受到外部环境(如空气、水、粉尘或其他有害气体等)的影响，及工作部件相对运动产生机械力(如冲压、剪断等)的作用，将发生两方面的变化：
化学变化 润滑脂组分(基础油、稠化剂)因受光、热和空气的作用，可能发生氧化变质，基础油遭受氧化后生成微量的有机酸、醛、酮及内酯等组分，稠化剂中脂肪酸、有机的金属盐有可能发生分解而形成微量的有机酸等，因此，产生酸性物(润滑脂酸值增大)导致被润滑的部件腐蚀，及至锈蚀，并失去润滑、防护作用。
物理变化 由于机械作用使润滑脂结构变差乃至破坏，润滑脂稠度下降，润滑效能变差；或是由于机械润滑部件密封条件不好，导致润滑脂中混入灰土、杂质和水分而使润滑脂质量变差。 判别的方法：
真空润滑脂用肉眼或手感有灰尘、机械杂质，或因混入水分润滑脂乳化而变白、变浅，或稠度明显变小，或有明显油脂酸败的臭味等，都能说明润滑脂变质。 & 采用仪器分析办法，最直接的判别是取少量使用过的样品用红外光谱仪测定样品中有无1720cm-1吸收峰。或测定样品在使用前后的吸收峰的变化(碳基指数为1710 cm-1、与1378 cm-1两个吸收峰之比。或直接测定样品的酸值，若酸值大于1.0mgKOH/g时表明润滑脂己开始变质。
8.14 真空润滑脂在储存中要注意哪些事项？
真空润滑脂是一个胶体，在使用和储存中脂的结构将会受各种外界因素的影响而变化。 在库房存储时，温度不宜高于35℃，包装容器应密封，不能漏入水分和外来杂质。 当开桶取样品或产品后，不要在包装桶内留下孔洞状，应将取样品后的脂表面抹平，防止出现凹坑，否则基础油将被自然重力压挤而渗入取样留下的凹坑，而影响产品的质量。 8.15 何谓机械杂质？对应用有何影响？&
机械杂质是指油品被外界污染的物质，主要有油泥、泥沙、灰尘、铁锈、金属屑、纤维等，大都在储运、保管和使用过程中混入。这些杂质混入油中容易堵塞滤网、管道，数量多时会造成供油不正常；进入设备会造成机械磨损。因此，在储运和使用中要特别注意洁净，使用时，最好先经过滤。一般来说，润滑油基础油的机械杂质控制在0.005%以下(小于0.005%被认为无)。
但对于一些加有大量添加剂的油品来说，机械杂质的指标略大一些。其原因是加入多种添加剂后，可能有一些溶剂不溶物，这些胶状的金属有机物并不影响其使用效果。因此，不能简单地以机械杂质的大小判断油品的好坏，应分析杂质的性质和类别。
8.16真空油颗粒污染造成的原因？有何危害？如何防止？
真空油颗粒污染造成的原因见下表：&&&&&&&&&&&&&
&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& 表16.27& 真空油颗粒污染来源
粘结、堵塞过滤器、伺服阀、阀孔； 增大泵和运动部件的磨损； 加速真空油的老化变质； 堵塞吸油粗滤器，使泵发生气蚀。
3. 防止办法
真空油箱密封好、防尘，或安装带有空气过滤器的呼吸孔；
成品真空油储运过程中一定要防尘、防水；
系统中必须装有过滤装置及时清除污染颗粒，最好采用带指示信号的滤器，油箱底部最好安装磁性捕集器；
安装并定期检查、清洗泵吸入口的粗滤器；
在油缸和推杆密封处加防护罩，或吹气防尘。
8.17 节能型润滑油为什么能节能？其实用意义如何？ &&& 无论从资源角度，还是从企业效益角度，节约能源无疑是一项十分重要的任务。近年来的研究实践表明：润滑消耗水平和润滑材料有关，现在国外大都选用节能型润滑油，取得了显著的节能效果。节能润滑油有三种类型：一是低粘度油；二是高粘度指数油；三是含有磨擦缓和剂（减摩剂）的油。
1.低粘度油
粘度越大内摩擦力越大，在应用中能耗越高。国内外实际经验证明，在流体润滑范围内，润滑油在使用条件下粘度每差1mm2/s，能耗大约相差0.5~1%；粘度相差一个级号，则能耗大约相差1~5%。从节能角度出发，在选用润滑油时应在保证设备润滑的前提下，尽量采用低粘度润滑油。
2.多级油和高粘度的指数油
真空设备工作时，受地区、季节、昼夜、负荷的影响，温差变化很大，有时相差数十度，而润滑油粘度随着温度变化而变化，升降幅度的大小和润滑油的粘度指数有关，粘度指数高的，粘度随温度变化小，粘度指数低的，粘度随温度的变化大。为尽量避免由于粘度变化太大所造成的设备磨损和能耗增多，在选用油品时，应选用粘度指数高的油。高粘度指数润滑油是以高粘度指数基础油或在基础油中加粘度指数改进剂组成，通称为多级油。
3 含有摩擦缓和剂的油
&&& 真空油的低粘度化，有利于节约材料，为了避免可能出现的边界摩擦所造成的磨损，往往在低粘度油中加入摩擦缓和剂（也叫摩擦改进剂、减摩剂），这种添加剂可以和金属表面形成坚固的吸附膜或渗透膜或金属发生反应生成化学膜。这种膜摩擦系数很小，可以保证设备边界磨擦时不发生擦伤和烧结，节能效果显著，一般为2~5%。
&&& 我国能耗偏高，产值与能耗之比高出工业发达国家2～3倍，主要浪费在摩擦损失上。特别是所用润滑油粘度一般比国外高出一档，仅此，即多耗材料2～5%，再加使用低粘度指数油、含摩擦缓和剂油的比重不大，所以我国节能潜力很大。
真空泵油使用注意事项、换油方法、真空泵油使用注意事项：&真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年； &油品应存放阴凉干燥处； &油桶打开使用后，剩余的油应盖好密封盖。同时尽快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液体杂质； &环境工具应保持干净，若用溶剂清洗后应烘干使用； &根据真空泵的结构精度和使用环境，应选用相应精度品质的油品。 真空泵换油方法： &将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。 &换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。 真空泵换油后产生问题排除方法： &泵出气口有喷油现象： &油加的过多，减少油的加入量； &进气口长时间抽大气，应加以避免； &泵出气口有雾现象： &检查进气口及其他部分是否有漏气 &真空度偏低： &泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间 &检查泵各密封部分是否有漏气现象 &校对好检测仪表 扩散泵 、油增压泵换油注意事项：&选用品质好的油品； &换油时应全部倒出旧油； &用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干； &按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部； &操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油； 扩散泵使用中产生的问题及排除方法：真空度偏低： &检查前级真空； &检查冷却水是否畅通，水温是否偏高； &冷却水管有没有部分堵塞； &电炉丝功率偏大或偏小； &供电电压是否偏低； &各喷油嘴装配不正确； &规管测量不准确； &仪表或导线不正常； &真空系统是否漏气； &工作室经长期使用残留镀层是否太厚； 由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑： &检查工作是是否忘记打开冷水； &真空系统存在较严重漏气； &扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内； &工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内；
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