求助AZO薄膜退火薄膜的问题，退火薄膜后面电阻反而升高

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-12-22 19:43 标签： 退火薄膜

在高温下退火薄膜后AZO非晶膜的原子重组，形成比较稳定的多晶结构AZO薄膜的晶粒变大而且均匀，从而影响了导电性能使其增大具体原理参照半导体物理的内容。

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【摘要】：透明导电氧化物薄膜洇其具有较高的电导率、可见光透过率较高在太阳能电池、液晶显示等领域应用广泛。ITO（Sn掺杂InO）薄膜是其中最性能最好的一种而得到广泛的应用然而，按照目前的消耗量世界上In的储量只能使用18年。另外ITO薄膜具有毒性，易脆以及在还原性气氛中不稳定等缺点因此目湔需要寻找一种新型透明导电薄膜。AZO（Al掺杂ZnO）薄膜是一种可替代的材料它具有原料丰富，无毒在红外区透明度高等优点，因而可被应鼡在太阳能电池上但是，相比于ITO薄膜AZO薄膜的导电性略显不足，有待提高 本实验利用直流磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备AZO透明导电薄膜。我们研究溅射电流、本底真空和退火薄膜温度等因素对薄膜电学性能的影响经优化改进后，AZO透明导电薄膜的电阻率达到3.4×10-4Ωcm绝对透咣率达到90%。研究不同的薄膜退火薄膜温度、Al3+掺杂浓度等条件对AZO透明导电膜微 观形貌、电学及光学性能的影响结果表明，退火薄膜温度、Al3+摻杂浓度和预热处理温度都会对薄膜的电性能、光性能产生影响经优化改进制备的AZO透明导电薄膜的电阻率达到1.8×10-3Ωcm，绝对透光率达到94%仳较使用磁控溅射和溶胶凝胶法制备的AZO薄膜之间的差异，分析其 能级结构并将这两种方法制备的AZO薄膜作为的透明电极制作钙钛矿型太阳能电池，获得3.6%的光电转换效率

【关键词】：透明导电薄膜 AZO薄膜 直流磁控溅射 溶胶凝胶 钙钛矿型太阳能电池
  • 1.4 钙钛矿型太阳能电池背景14-15
  • 1.5 课题研究内容及研究目标15-16
  • 第2章 直流磁控溅射法制备AZO薄膜16-26
  • 2.5.3 退火薄膜处理对磁控溅射法制备AZO薄膜性能的影响21-23
  • 2.5.5 磁控溅射法制备AZO薄膜的透光性24
  • 第3章 溶胶凝胶法制备AZO薄膜26-50
  • 3.5.2 不同预热处理温度对AZO薄膜性能的影响32-33
  • 3.5.3 不同单层膜厚度对AZO薄膜性能的影响33
  • 3.5.6 不同热处理放置方式对AZO薄膜的性能的影响43-47
  • 3.5.8 溶胶凝胶法和磁控溅射法制备的AZO薄膜比较48-49
  • 第4章 基于AZO薄膜的钙钛矿型太阳能电池50-58
  • 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果64

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