真空扩散泵工作原理怎么破真空


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真空扩散泵工作原理中的油在真涳中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于真空扩散泵工作原理进气口附近被抽氣体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强这样,被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动气体分子碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩,最后由前級泵抽走而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的

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