激光器束流光栅温度 激光器故障

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-10-18 18:27 标签： 光栅温度 激光器

1. 调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中柵线与束流垂直度的方法其特征是，该方法由以 下步骤实现： 步骤一、离子源（6)产生离子束流经离子源栅网出射所述离子束流（7)的出射方向垂 直于离子源栅网（5)平面； 步骤二、光源光束经平板（2)的中心圆孔（13)入射至反射镜（4)，经反射镜（4)反射 的光束入射至光栅（9)表面形荿0级衍射光和-1级衍射光；0级衍射光入射至平板（2)的 中心圆孔（13)内并与光栅（9)栅线垂直；所述反射镜（4)固定在步骤一所述的离子源栅网 (5)表面反射镜（4)的反射面与离子源栅网（5)表面平行； 步骤三、调整光栅，使步骤二所述的-1级衍射光入射至平板（2)的中心圆孔（13)入射 至平板（2)嘚中心圆孔（13)的-1级衍射光与光栅（9)栅线垂直，所述-1级衍射光所形成 的平面与反射镜（4)的反射面垂直最终实现离子束流方向与光栅（9)栅线方向垂直。

2. 根据权利要求1所述的调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅线与束流垂直度的方法 其特征在于，所述光源光束垂直于平板（2)表面并且所述光束的光斑直径与平板（2)的中 心圆孔（13)的直径相同。

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