已知图蓝色和黑色是什么线角是70度,黑色线是5米。求红色线几米。谢谢。顺便告知公式。谢谢

工艺上一般认为poly的CD就是最小线宽

朂小线宽一般是指版图设计时的最小尺寸 当然,在工艺上这些极限尺寸一般用于光刻套刻的对准游标上。

从器件来讲主要是指栅极長度(一般,栅极长度小于栅极宽度) 从加工精度来讲,主要是指套刻精度(最小间距);最小线宽是引线孔尺寸 因为并无统一的看法,仅供参考

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