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物理气相沉积_百度百科
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物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。 物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,及分子束外延等。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、、聚合物膜等。外文名Physical Vapor Deposition所属领域物理
物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用,但在最近30年迅速发展,成为一门极具广阔应用前景的新技术,并向着环保型、清洁型趋势发展。20世纪90年代初至今,在钟表行业,尤其是高档手表金属外观件的表面处理方面达到越来越为广泛的应用。
真空蒸镀基本原理是在真空条件下,使金属、金属合金或化合物蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,高频感应加热,电子束、激光束、离子束高能轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,历史上,真空蒸镀是PVD法中使用最早的技术。
溅射镀膜基本原理是充氩(Ar)气的真空条件下,使氩气进行辉光放电,这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+),氩离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电,称直流(Qc)溅射,射频(RF)辉光放电引起的称射频溅射。磁控(M)辉光放电引起的称磁控溅射。 电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下,用引弧针引弧,使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电,阴极表面快速移动着多个阴极弧斑,不断迅速蒸发甚至“异华”镀料,使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体,并能迅速将镀料沉积于基体。因为有多弧斑,所以也称多弧蒸发离化过程。
离子镀基本原理是在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下,离子沉积于基体表面形成薄膜。
物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤:
(1)镀料的气化:即使镀料蒸发,异华或被溅射,也就是通过镀料的气化源。
(2)镀料原子、分子或离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后,产生多种反应。
(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。
物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐饰、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。
随着高科技及新兴工业发展,物理气相沉积技术出现了不少新的先进的亮点,如多弧离子镀与磁控溅射兼容技术,大型矩形长弧靶和溅射靶,非平衡磁控溅射靶,孪生靶技术,带状泡沫多弧沉积卷绕镀层技术,条状纤维织物卷绕镀层技术等,使用的镀层成套设备,向计算机全自动,大型化工业规模方向发展。(一)真空蒸镀原理
(1) 真空蒸镀是在真空条件下,将镀料加热并蒸发,使大量的原子、分子气化并离开液体镀料或离开固体镀料表面(升华)。
(2)气态的原子、分子在真空中经过很少的碰撞迁移到基体。
(3)镀料原子、分子沉积在基体表面形成薄膜。
(二)蒸发源
将镀料加热到蒸发温度并使之气化,这种加热装置称为蒸发源。最常用的蒸发源是电阻蒸发源和电子束蒸发源,特殊用途的蒸发源有高频感应加热、电弧加热、辐射加热、激光加热蒸发源等。
(三)真空蒸镀工艺实例 以塑料金属化为例,真空蒸镀工艺包括:镀前处理、镀膜及后处理。
真空蒸镀的基本工艺过程如下:
(1)镀前处理,包括清洗镀件和预处理。具体清洗方法有清洗剂清洗、化学溶剂清洗、超声波清洗和离子轰击清洗等。具体预处理有除静电,涂底漆等。
(2)装炉,包括真空室清理及镀件挂具的清洗,蒸发源安装、调试、镀件褂卡。
(3)抽真空,一般先粗抽至6.6Pa以上,更早打开扩散泵的前级维持真空泵,加热扩散泵,待预热足够后,打开高阀,用扩散泵抽至6×10-3Pa半底真空度。
(4)烘烤,将镀件烘烤加热到所需温度。
(5)离子轰击,真空度一般在10Pa~10-1Pa,离子轰击电压200V~1kV负高压,离击时间为5min~30min,
(6)预熔,调整电流使镀料预熔,除气1min~2min。
(7)蒸发沉积,根据要求调整蒸发电流,直到所需沉积时间结束。
(8)冷却,镀件在真空室内冷却到一定温度。
(9)出炉,.取件后,关闭真空室,抽真空至l × l0-1Pa,扩散泵冷却到允许温度,才可关闭维持泵和冷却水。
(10)后处理,涂面漆。溅射镀膜是指在真空条件下,利用获得功能的粒子轰击靶材料表面,使靶材表面原子获得足够的能量而逃逸的过程称为溅射。被溅射的靶材沉积到基材表面,就称作溅射镀膜。 溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。近年发展起来的规模性磁控溅射镀膜,沉积速率较高,工艺重复性好,便于自动化,已适当于进行大型建筑装饰镀膜,及工业材料的功能性镀膜,及TGN-JR型用多弧或磁控溅射在卷材的泡沫塑料及纤维织物表面镀镍Ni及银Ag。这里指的是PVD领域通常采用的冷阴极电弧蒸发,以固体镀料作为阴极,采用水冷、使冷阴极表面形成许多亮斑,即阴极弧斑。弧斑就是电弧在阴极附近的弧根。在极小空间的电流密度极高,弧斑尺寸极小,估计约为1μm~100μm,电流密度高达l05A/cm2~107A/cm2。每个弧斑存在极短时间,爆发性地蒸发离化阴极改正点处的镀料,蒸发离化后的金属离子,在阴极表面也会产生新的弧斑,许多弧斑不断产生和消失,所以又称多弧蒸发。 最早设计的等离子体加速器型多弧蒸发离化源,是在阴极背后配置磁场,使蒸发后的离子获得霍尔(hall)加速效应,有利于离子增大能量轰击量体,采用这种电弧蒸发离化源镀膜,离化率较高,所以又称为电弧等离子体镀膜。 由于镀料的蒸发离化靠电弧,所以属于区别于第二节,第三节所述的蒸发手段。离子镀技术最早在1963年由D.M.Mattox提出,1972年,Bunshah &Juntz推出活性反应蒸发离子镀(AREIP),沉积TiN,TiC等超硬膜,1972年Moley&Smith发展完善了空心热阴极离子镀,l973年又发展出射频离子镀(RFIP)。20世纪80年代,又发展出磁控溅射离子镀(MSIP)和多弧离子镀(MAIP)。
(一) 离子镀
离子镀的基本特点是采用某种方法(如电子束蒸发磁控溅射,或多弧蒸发离化等)使中性粒子电离成离子和电子,在基体上必须施加负偏压,从而使离子对基体产生轰击,适当降低负偏压后,使离子进而沉积于基体成膜。 离子镀的优点如下:①膜层和基体结合力强。②膜层均匀,致密。③在负偏压作用下绕镀性好。④无污染。⑤多种基体材料均适合于离子镀。
(二)反应性离子镀
如果采用电子束蒸发源蒸发,在坩埚上方加20V~100V的正偏压。在真空室中导人反应性气体。如N2、02、C2H2、CH4等代替Ar,或混入Ar,电子束中的高能电子(几千至几万电子伏特),不仅使镀料熔化蒸发,而且能在熔化的镀料表面激励出二次电子,这些二次电子在上方正偏压作用下加速,与镀料蒸发中性粒子发生碰撞而电离成离子,在工件表面发生离化反应,从而获得氧化物(如Te02:Si02、Al203、Zn0、Sn02、Cr203、Zr02、In02等)。其特点是沉积率高,工艺温度低。
(三)多弧离子镀
多弧离子镀又称作电弧离子镀,由于在阴极上有多个弧斑持续呈现,故称作“多弧”。多弧离子镀的主要特点如下: (1)阴极电弧蒸发离化源可从固体阴极直接产生等离子体,而不产生熔池,所以可以任意方位布置,也可采用多个蒸发离化源。 (2)镀料的离化率高,一般达60%~90%,显著提高与基体的结合力改善膜层的性能。 (3)沉积速率高,改善镀膜的效率。 (4)设备结构简单,弧电源工作在低电压大电流工况,工作较为安全。
英文指&phisical vapor deposition& 简称PVD.是镀膜行业常用的术语.
PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。
近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是最快的,它已经成为当今最先进的方式之一。我们通常所说的PVD镀膜 ,指的就是真空离子镀膜;通常所说的PVD镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。
物理气相沉积(PVD)
物理气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。
离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右,且覆盖层附着力强,适用于高速钢工具,热锻模等。
新手上路我有疑问投诉建议参考资料 查看重庆现最任性人造“天河” 恐龙轮船离地十米高空对峙
  日,重庆洋人街,一条人造“天河”离地10余米盘旋在空中,硕大的轮船和“恐龙”在“天河”中对峙,上演龙船大战,市民连连称奇,被称为“最任性的人造天河”。中国网图片库刘向龙摄影
  据了解,人造“天河”重庆洋人街的旅游景观项目之一,除观赏性外,还有蓄水池的功能。对外开放后两边还设立一米宽的人行道,可以方便游客近距离观赏恐龙及游船景观。据记者目测,“天河”景观是不规则形状,中间河道宽6米,长20多米,水深1.5米左右。
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黍黎是什么意思
黍黎是什么意思
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叔叔的爱称捏~~
是不是“黍离之悲”的“黍离”写错了哦???
黍黎有以下意思(无黍黎这词,故解释黍黎的相近词“蜀黎”和“黍离”):一是指“蜀黎”,为网络用词,意同“蜀黍”(读音 shǔ shú,源自叔叔的谐音), 泛指“怪叔叔”,指有萝莉情结的中年男子,那些喜欢萝莉带有拐带和推倒萝莉倾向的男人。二是指“黍离”,《黍离》选自《诗经·王风》,采于民间,是周代社会生活中的汉族民间歌谣,基本产生于西周初叶至春秋中叶,距今三千年左右。关于它的缘起,毛诗序称:“《黍离》,闵(通悯)宗周也。周大夫行役至于宗周,过故宗庙宫室,尽为禾黍。闵周室之颠覆,彷徨不忍去,而作是诗也。”这种解说在后代得到普遍接受,黍离之悲成为重要典故,用以指亡国之痛。参考链接:
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第二十一章
  魔影城,城主府。  “你要是想搏一份机缘的话,我到是有个地方可以带你们去。”龙啸天道。  一句话,顿时勾起了离沐阳的兴趣。  龙啸天继续道:“距离此处约莫千里深处,有座离殇古宫,传闻是万前年的一位大能者留下来的行宫。相传这行宫之中埋藏了这位大能一生的财富,甚至还留下了他的传承道统。如果有缘能得到的话,必定会受益无穷。当然——这些都只是传闻,真实性我就不得而知了。”  “不过——这万年来也是无数人进入离殇古宫,甚至有许多的大能者也进入过离殇古宫,但至今都没有传出过有谁得到了里面的宝藏。我也去过离殇古宫一次,除了一座腐朽破败的庞大宫殿在那里,什么东西都没有。但或许,只是一直都还没有找到有缘人。也或许——是宝藏已经被人带走了,只是没有传出来罢了。”  离沐阳咧了咧嘴道:“竟然还有如此地方,那不管怎样都要过去看看了。说不定,我们就是有缘人呢,总归有益无害是吧。”  龙啸天点了点头:“离殇古宫的主人乃是离殇王,而离殇王可是万年前就纵横几个疆域的大能之辈,看看也是可以的。”  一日后,三人便来到了一处空旷的平原之地,一座无比庞大恢弘的宫殿就出现在了三人的眼前。长宽怕足有数十万丈,占地面积都差不多有整个魔影城范围那么大了。  站在离殇宫前,离沐阳也是看的怔怔出神,古老而又沧桑的气息迎而扑来,似是能感受到一股远古的凄凉。一座宫殿,静静的在这里躺了万年之久,充满着腐朽。虽过万年,但离殇宫看起来,依然是一尘不染,甚至看不出一丝岁月留下来的痕迹。  离沐阳想要去触摸下墙壁,却是被一股无形的力量阻隔了下来,让离沐阳有些诧异。  龙啸天见状解释道:“整座离殇古宫都被一个强大可怕的阵法神通保护着,纵然是灵魂之火紫色的当世强者都破坏不了。不然这座离殇古宫,只怕早就被毁了。走吧进去看看吧,据说这里面蕴藏了许多神通传承,只可惜至今也没有听说有谁得到过。”  “就就是阵法神通。”离沐阳这才释然,虽然自己精通阵法,但离殇古宫的阵法神通神异无比,而且非常的高级,远不是自己所能接触到的。  二人很快便进入了离殇古宫殿内,一座座宫宇,一条条长廊,一间间石室,都是空空如也。  但是宫殿内的气息,却是让人有种时光回溯到了上古时期一般,幽幽苍苍,总给人一种很莫名却又说不出的感觉。  这让离沐阳也是小心翼翼的行走其中。  龙啸天道:“凶兽是进不来的,这里面安全的很,甚至很多人把这里当做临时修练之地。离殇宫太庞大了,如果这样慢慢转的话,只怕我们要几年才能逛的完。这样吧,三日之后,我们再在这里汇合。能不能获得缘分,就各凭气运了。”  于是三人分开了,离沐阳随便选了一条长廊走去,果然一路上还真的见到了有人占据一间石室修练。  一连走了半天,离沐阳也深入到了宫殿之中,隐隐的,离沐阳好像感觉到了一丝力量在召唤自己一般。这种感觉,非常的奇怪。  离沐阳慢慢的前进,越来越感觉这离殇宫的古怪,让他时刻警惕着。  “呼!”  铁然一道人影快速的冲了这来,让离沐阳下意识的警惕了起来。来人是一名看模样十七八的少年,一身蓝色的衣服。此时好像有些仓皇,见到了离沐阳好似自来熟的拍了下离沐阳道:“哥们,帮我挡一挡。”说完就快速的离开了,离沐阳所在的地方正好是个岔口。  这少年刚离开,只见五道身影追了上来,为首的是一名二十左右的金衣男子,衣着华丽富贵,气宇轩昂。一看,就知道身份不凡。  能进到这里的,基本上都是一个势力的精英弟子。  眼前这五人离沐阳都感觉出来,个个强大,怕个个实力都是跟龙啸天一个层次的。  为首金衣男子瞥了离沐阳一眼道:“我问你,刚才可有一个人从这里跑过去了?”  对于这样近乎命令式的语气,离沐阳很是不舒服,这五人盛气凌人,只怕是以多欺少:“我也是刚来,没有看到人。”  离沐阳的话还没有说完,那金衣男子脸色顿时微沉了下来:“哼,你撒谎,刚才明明有人从这里跑过,你竟然还敢睁眼说没看到?我看你,是趁心想替他出头吧?想要逞英雄,得让看看自己有没有那份实力。”  离沐阳眉头微挑,神通修士个个傲气,一言不和便大打出手也是常有之事。眼前的形势显然对离沐阳不利,要真的动起了手来,吃亏的肯定是离沐阳,而且说不定还会招来杀身之祸。  离沐阳虽然很是不爽,不过也只能暂时隐忍了,道:“我说没看到就是没看到,你们不相信我也没有办法。”说完,离沐阳直接转身离去。  那金衣男子怒吼了一声,就要出手,还是被身后一名白衣男子拉住了:“冰师兄,还是追那个家伙要紧吧,再不追估计就追不上了。”听言,那金衣男子这才作罢,狠狠的盯了眼离沐阳的背影,这才快速离去。  送走了这五人,离沐阳拳头也是暗握了一下。  继续向前走去。  又过了一天,当然这一天离沐阳也是走走停停,或看看这恢弘的宫殿,感受着其中幽幽苍苍的气息,或是找间石室修练一番。  “嗯,没路了?”离沐阳的去路被一堵墙挡住了,也是让他眉头微皱了一下。  按理说,这离殇古宫四通八通,应该没有死角,这也是离沐阳进入离殇古宫一天多时间第一次碰到了一个死角。  挡住他去路的一堵墙,离沐阳总觉得有些特别,虽然他也说不上来。  莫名的,很不由自主的,离沐阳将手向墙壁上摸了上去。奇怪的是,这次竟然没有受到阵法的阻挠,而是轻松的摸到了墙壁之上,一股温凉的感觉传了上来。  离沐阳心中也是觉得有些奇怪,怎么这堵墙上没有阵法?  而且自己心中为什么会有奇怪的感觉?好像隐隐,还感觉到这门后有什么东西在召唤自己似的。奇怪,确实奇怪。  “算了,这离殇古宫本来就奇怪无比,看来真如啸天所说,这里面的一切都只是传闻,或许根本不存在。时间不多了,我还是去别的地方转转。”离沐阳摇了摇头,正要将收抽回来,但是奇怪的事情发生了,离沐阳却是感觉自己的手抽不回来了。  墙上传来了可怕的吸引力,如是被无形的手抓住了。  离沐阳心中一惊,这是怎么回事?  这门,还能吃人不成?  这门,还真是在吃人,离沐阳感觉自己的双手正在被门一点点的吞食了进去,而且这股吸引力越来越可怕,根本就反抗不了。离沐阳也是惊出了一身的冷汗,难不成自己要被这石墙给吃了?  不——  离沐阳心中爆发出了怒吼,但反抗依然是那么苍白无力,很快他就眼睁睁的看着自己完全的被石墙‘吃掉了’,离沐阳完全的没入了石墙之中,而石墙也恢复了平静,仿佛什么事情都没有发生过似的。如果这一幕被人看见的话,一定会惊的不小。  被石墙吞噬后,很快眼前景色一变,离沐阳竟然发现自己来到了一处陌生之地。打量了下自己,发现自己并没有真的被吃掉,自己没死。离沐阳目光一扫,才发现眼前是一处大殿。离沐阳打量了下四周,也是一脸不解:“这里是哪里?”
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