测量光栅提高直线光栅莫尔传感器的测量精度（测量光栅）可以测长、宽、高吗？

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-05-18 05:59 标签： 提高直线光栅莫尔传感器的测量精度

【摘要】：光栅提高直线光栅莫爾传感器的测量精度作为一种高精度测量手段,被广泛应用于长度、角度等测量但在振动测量过程中,光栅提高直线光栅莫尔传感器的测量精度结构稳定性好坏直接影响莫尔条纹质量,特别是两光栅间的相对位置变化是形成测量误差的主要来源,从而限制了光栅振动提高直线光栅莫尔传感器的测量精度的应用。光栅振动提高直线光栅莫尔传感器的测量精度是以主光栅为敏感元件——谐振子,通过弹簧与提高直线光栅莫尔传感器的测量精度外壳连接,形成弹簧——质量系统,拾取外部振动信号限制光栅横向移动或扭摆,是保持提高直线光栅莫尔传感器的测量精度结构稳定的关键任务。本文采用横向限振弹簧片,减小横向振动和光栅振子的扭摆,并实现了光栅振动提高直线光栅莫尔传感器的测量精度设计,有效提高了提高直线光栅莫尔传感器的测量精度的结构稳定性通过误差分析,提出了改善提高直线光栅莫尔传感器的测量精度性能的必要手段。实验证明,采用100线光栅组成光闸式光栅副,在垂直入射光原系统照射下,测振频率范围在10～300Hz内,振幅测量精度可以达到10~(-7)m,动态范围可達到90dB该提高直线光栅莫尔传感器的测量精度可用于地球物理勘探等中低频高精度振动测量。

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