硅衬底上长硅如何变成二氧化硅硅,最大能长多厚?谢谢。

  以硅-硅如何变成二氧化硅硅复合靶作为溅射靶,改变靶上硅与总靶面积比为0%,7%,10%,20%和30%,用射频磁控溅射方法在p型硅衬底上淀积了五种富硅量不同的硅如何变成二氧化硅硅薄膜.所有样品都在300℃氮气氛中退火30分钟.通过X射线光电子能谱、光吸收和光致发光测量确定出:随着


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