GexSi1－x／Si超晶格PIN波导探测器结构及性能参数--《半导体光电》1996年03期
GexSi1－x／Si超晶格PIN波导探测器结构及性能参数
【摘要】：从ＰＩＮ波导探测器性能参数的定义出发，阐述了各参数之间的内在联系，说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。通过对具体结构及参数的分析比较，说明结构与参数之间的影响方式以及ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格波导探测器的特有性质，进一步论证了波导探测器的优点
【作者单位】：
【关键词】：
【分类号】：TN364.2【正文快照】：
ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器结构及性能参数①李娜（博士生）刘恩科李国正②（西安交通大学，西安７１００４９）摘要：从ＰＩＮ波导探测器性能参数的定义出发，阐述了各参数之间的内在联系，说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。通过对具
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光电探测器的性能参数
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光电器件的基本参数特性有哪些
@响应特性分为电压响应度 电流响应度 光谱响应度 积分响应度 响应时间 频率响应 @噪声分类： 热噪声 散粒噪声 产生-复合噪声 1/f噪声 信噪比S/N
噪声等效功率NEP
光电信息技术是以什么为基础，以什么为主体，研究和发展光电信息的形成、传输、接收、变换、处理和应用。
（光电子学 光电子器件）
光电检测系统通常由哪三部分组成
（光学变换 光电变换 电路处理）
光电效应包括哪些
外光电效应和内光电效应）
外光电效应：物体受光照后向外发射电子――多发生于金属和金属氧化物。
内光电效应：物体受到光照后所产生的光电子只在物质内部而不会逸出物体外部――多发生在半导体。
内光电效应又分为光电导效应和光生伏特效应。
光电导效应：半导体受光照后，内部产生光生载流子，使半导体中载流子数显著增加而电阻减少的现象。
光生伏特效应：光照在半导体PN结或金属―半导体接触面上时，会在PN结或金属―半导体接触的两侧产生光生电动势。
光电池是根据什么效应制成的将光能转换成电能的器件，按用途可分为哪几种？
（光生伏特效应 太阳能光电池和测量光电池）
激光的定义，产生激光的必要条件有什么？
（ 定义：激光是受激辐射的光放大
粒子数反转 光泵 谐振腔）
热释电器件必须在什么样的信号的作用下才会有电信号输出？
（交变辐射）
CCD是一种电荷耦合器件，CCD的突出特点是以什么作为信号，CCD的基本功能是什么？
CCD的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。）
9根据检查原理，光电检测的方法有哪四种。
（直接作用法 差动测量法 补偿测量法 脉冲测量法）
10、光热效应应包括哪三种。
（热释电效应 辐射热
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《光电探测器性能参数》
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此套资料包含2套内容，全套共计278元，包含运费第一套资料：《微电子与光电子集成技术》出版社最新出版图书第二套资料：《各种微电子与光电子设计加工生产工艺技术汇编》光盘，包含以下目录所对应内容，几乎涵盖了所有这方面的内容，全部汇总在一起；图书介绍&目录如下：第1章&概述　1.1&微电子技术简介　　1.1.1&双极型微电子技术简介　　1.1.2&MOS微电子技术简介　　1.1.3&Bi-CMOS微电子技术简介　　1.1.4&SOI微电子技术简介　1.2&光电子技术简介　　1.2.1&光发射器件简介　　1.2.2&光接收器件简介　　1.2.3&光波导器件简介　　1.2.4&太阳能电池　　1.2.5&电子图像显示器件　1.3&工艺与制备　　1.3.1&MBE工艺　　1.3.2&MOCVD工艺　　1.3.3&氧化　　1.3.4&化学气相沉积（CVD）　　1.3.5&刻蚀　　1.3.6&光学光刻　　1.3.7&离子注入　　1.3.8&金属化　1.4&微电子与光电子集成技术简介　参考文献第2章&光发射器件及集成技术　2.1&光发射器件理论基础　　2.1.1&晶体结构　　2.1.2&能带结构　　2.1.3&杂质能级　　2.1.4&半导体发光基础理论　2.2&光发射二极管　　2.2.1&概述　　2.2.2&半导体光发射二极管的基本结构　　2.2.3&发光二极管性质　　2.2.4&硅基光发射二极管　2.3&半导体激光器　　2.3.1&半导体激光器分类　　2.3.2&异质结激光器　　2.3.3&分布反馈激光器（DFB-LD）　　2.3.4&量子阱激光器　　2.3.5&硅基半导体激光器　2.4&垂直腔面发射激光器（VCSEL）　　2.4.1&VCSEL的理论分析　　2.4.2&VCSEL的总体结构设计　　2.4.3&VCSEL中反射镜的设计　　2.4.4&VCSEL光腔的设计　　2.4.5&几种典型的VCSEL结构及其制作工艺　参考文献第3章&光接收器件及集成技术　3.1&光电探测器理论基础　　3.1.1&半导体中的光吸收　　3.1.2&光生载流子　3.2&光电探测器性能参数　　3.2.1&量子效率和响应度　　3.2.2&频率响应　　3.2.3&噪声和探测度　3.3&基于Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的光电探测器　　3.3.1&PIN型光电探测器　　3.3.2&APD光电探测器　　3.3.3&MSM光电探测器　　3.3.4&GaN基紫外光电探测器　3.4&基于硅基双极型工艺的光电探测器　　3.4.1&与标准双极工艺兼容的集成光电探测器　　3.4.2&修改双极工艺条件下的集成光电探测器　3.5&基于硅基CMOS工艺的集成光电探测器　　3.5.1&基于标准CMOS工艺的集成光电探测器　　3.5.2&定制CMOS工艺下的PIN光电探测器　　3.5.3&BiCMOS工艺下集成光电探测器　3.6&锗硅光电探测器　3.7&光电探测器阵列　参考文献第4章&光波导器件及集成技术　4.1&光传输的理论概述　　4.1.1&线光学理论　　4.1.2&电磁场理论基础　4.2&光波导基本结构　4.3&SOI光波导　　4.3.1&SOI光波导结构　　4.3.2&光波导的折射率及损耗系数　　4.3.3&硅光波导中损耗的分类　　4.3.4&硅中的光调制机制　4.4&光波导器件制作技术　　4.4.1&SOI基片的制备　　4.4.2&SOI波导工艺特点简介　……　第5章&光电子专用集成电路第6章&硅基光电子集成回路第7章&甚短距离光传输模块及相关技术第8章&微电子与光电子混合集成技术第9章&微电子与光电子集成技术展望附录A&缩略语光盘内容介绍&目录如下：1&用于写入同步的头上微电子线路2&使用在打开与关闭操作模式之间易于转换的处理室设计处理微电子工件的工具和方法3&微电子元件框架干燥装置4&一种改进的用于微电子散热的高效单向传热热管5&消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的方法6&微电子装置及其微机电共振器的制造方法7&微电子封装体8&微电子装置及制造方法、微机电封装结构及封装方法9&一种内部连接微电子组件的电缆10&一种矩阵微电子装置11&用于微电子器件的多层厚金属化结构、包含其的集成电路及包含其的集成电路的制造方法12&用于减小基于微电子机械系统的光学显示器中像素操作电压的装置和方法13&用于有选择地在微电子衬底上沉积薄膜的自对准的金属掩模组件以及使用方法14&包含用于高密度互连的硅贴片的微电子封装及其制造方法15&包括导线元件和带槽的微电子芯片并包括保持该导线元件的至少一个凸块的组件16&超小型微电子电路的平面型载体空腔气密性封装方法17&微电子机械系统微桥结构及其制造方法18&微电子光学倏逝场传感器19&具有检测单元阵列的微电子传感器设备20&微电子基底清洁组合物21&微电子元件框架高速电镀用电镀槽22&具有旋转传动和改善的电性质的微电子机械陀螺仪23&含有卤素含氧酸、其盐及其衍生物的微电子清洗组合物24&微电子机械微波频率响应补偿式微波功率检测装置25&制造包括至少一个微电子器件在内的微电子封装的方法26&用于微电子封装的碳纳米管凸点的低温转印方法27&一种贴片陶瓷微电子元件基片自动分割装置28&微电子机械系统微桥结构及其制造方法29&基于微电子封装工艺的湿/湿差动压力感测器设计30&形成微电子结构的方法31&微电子智能互动防伪标签32&微电子传感器设备33&用于目标颗粒检测的微电子传感器装置34&微电子锁定系统35&微电子机械开关电介质注入的测试结构及其制备方法36&一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置37&微电子健康保暖鞋38&一种密集排列的微电子三极管引线框架件39&堆叠微电子装置及用于制造堆叠微电子装置的方法40&形成用于改进微电子封装中的第一级互连和环氧树脂底部填料之间的粘结的纳米涂层的方法以及由此形成的结构41&在用于通过一种或多种处理流体来处理微电子工件的工具中的阻挡板和文氏管容纳系统的漂洗方法以及相关装置42&微电子封装元件及其制备方法43&微电子封装及其形成方法44&嵌入有微电子系统的三维粘合剂器件45&微电子机械系统46&微电子机械开关自激励机理的测试结构及其制备方法47&用于增强微电子器件的性能的等离子体激元高速器件48&可变电容电子装置和包括该电子装置的微电子机械装置49&微电子机械系统器件及其制造方法50&含有卤素含氧酸、其盐及其衍生物的微电子清洗组合物51&以全内反射进行光学检测的微电子传感器设备52&微电子框架电镀用挂具53&用于微电子立体封装的制冷结构及其制备方法54&制造具有应用于微电子封装的导电构件的元件的方法55&一种用于微电子系统级封装的柔性悬臂键合的方法56&制造微电子装置的方法及应用此方法的半导体装置57&微电子工件及用于使用所述工件制造微电子装置的方法58&一种方便携带微电子产品的防盗裤子59&生物显微电子装置60&基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关及其制备方法61&用于微电子系统级封装的堆叠芯片悬臂柔性层键合的方法62&具有包含用于堆叠型裸片封装的金属引线的金属引线的微电子裸片封装以及相关联的系统和方法63&无芯基板、其制造方法以及包含其的微电子器件封装件64&微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置65&真空微电子压力传感器66&具有经调制的光源的微电子传感器设备67&用于光学检查湿润表面的微电子传感器件68&具有光源和光检测器的微电子传感器设备69&具有磁场发生器的微电子传感器设备以及载体70&一种微电子工业用甲苯的提纯方法71&以高分辨率感测显微电子器件和生物体中的温度和温度分布72&一种微电子发光型书绘临摹装置73&微电子互连基底和封装技术74&具有柔顺性的微电子组件及其方法75&包括其凸块形成位点上的焊料帽的微电子管芯及其制造方法76&一种真空微电子加速度传感器77&包括与无源嵌入式结构的顶部导电层的桥接互连的微电子器件及其制造方法78&电子的、尤其是微电子的功能团及其生产方法79&微电子封装80&包括嵌入组件和间隔层的微电子衬底及其形成方法81&用于检测标记颗粒的微电子传感器装置82&一种微电子气源柜吹扫系统83&微电子连接器84&弹性微电子连接器85&双端微电子连接器86&双端的弹性微电子连接器87&微电子组件及其形成方法88&制造至少两个微电子芯片的组件的方法及设备89&设置有形成构成柔性机械支撑的布线元件的壳体的凹形的裸微电子芯片、制造工艺和微结构90&新型微电子器件散热器91&微电子应用中化学镀沉积的缺陷控制与工艺控制92&微电子组件及其形成方法93&微电子机械系统次声传感器阵列遥感勘测系统94&微电子封装用铝碳化硅复合材料与可伐合金的钎焊方法95&一种微电子用材料蠕变性能测试装置96&用于操纵样本的具有电极的微电子装置97&具有电源线和信号线的微电子器件98&碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法99&微电子机械悬臂梁式微波功率耦合器及其制备方法100&基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法101&使用天然、合成或混合纤维素材料同时作为可自支持场效应电子和光电子器件中的物理和电介质支撑体的工艺102&光电子器件103&使用芯片上光波导的光电子交换机104&光电子器件用油墨组合物105&含有四氮杂卟啉的有机光敏光电子装置106&声光电子警示牌107&声光电子报警装置108&用于光电子器件的发射聚合物材料109&光电子半导体组件和用于制造光电子半导体组件的方法110&一种基于同质外延制备高效光电子器件的方法111&光电子半导体芯片112&光电子器件113&光电子半导体器件和电路板114&光电子半导体芯片及其制造方法115&具有反射层的光电子半导体芯片116&光电子半导体器件,用于记录图像信息的装置以及用于制造光电子半导体器件的方法117&包含中性过渡金属络合物的光电子元件118&带有隧道结的光电子半导体本体及其制造方法119&光电子半导体本体及其制造方法120&单片的光电子半导体本体及其制造方法121&有机光电子器件及其制造方法122&光电子器件和用于制造光电子器件的方法123&光电子模块和带有光电子模块的投影装置124&用于光电子器件的横跨丝网形成的方法、设备和辊轴125&光电子器件126&光电子器件127&用于以薄膜技术制造光电子器件的方法128&光电子器件和光电子器件的制造方法129&光电子半导体本体和用于制造光电子半导体本体的方法130&用于制造光电子器件的方法和光电子器件131&一种有机光电子器件的封装对位装置及其封装方法132&红外感应可变光电子镇流器外挂133&红外感应可变光电子镇流器134&可调光电子镇流器135&一种无线调光电子镇流器136&调光电子镇流器的灯电流采样转换电路137&用于集成在CMOS芯片上的光电子收发器的方法和系统138&太阳能声光电子警示牌139&声光电子报警装置140&光电子器件141&一种使用光电子注入进行电导调制的功率器件与方法142&光电子器件143&具有非平面卟啉的有机光敏光电子器件144&包括光电子器件的装置145&光电子半导体芯片,光电子器件和用于制造光电子器件的方法146&带有多量子阱结构的光电子半导体芯片147&光电子器件148&一种有机光电子器件的封装装置及其封装方法149&光电子器件150&基于纳米线的光电子器件151&具有上转换发光介质的光电子器件152&光电子半导体器件及其制造方法153&光电子器件154&一种智能数控节能调光电子镇流器155&一种无线遥控调光电子镇流器156&一种LED辅助照明可调光电子镇流器及具有该镇流器的节能灯157&发射电磁辐射的光电子器件和用于制造光电子器件的方法158&用于测量植物在其自然环境中水化作用的光电子测量装置159&光电子器件用微机电系统芯片测试台160&一种有机光电子器件及其制备方法161&具有壳体的光电子装置162&白色热固性硅树脂组合物和光电子部件壳体163&白色热固性硅树脂组合物和光电子部件壳体164&含有酯基噻唑单元的聚合物光电子材料及其制备方法165&一种砷化镓基单片光电子集成接收机前端结构及制作方法166&用于在半导体层内制造具有降低了的电导率的区域的方法以及光电子半导体器件167&光电子半导体芯片168&发射电磁辐射的光电子器件以及用于制造光电子器件的方法169&半导体光电子器件的自适应耦合的结构170&用于制造光电子器件的方法和光电子器件171&光电子装置172&智能型省电自动调光电子镇流器173&制备用于安装的半导体结构的工艺以及安装的光电子半导体结构174&大功率荧光灯的智能调光电子镇流器175&光电子装置以及用于操作光电子装置的方法176&聚合物光电子薄膜及制备方法和应用177&用于光电子器件的壳体和光电子器件在壳体中的布置178&彩色光电子器件179&一种具有非掺杂增益层的有机光电子器件及其制备方法180&含有磺化共聚物的光电子器件181&基于边带注入锁定用于产生高频微波的集成光电子器件182&含有磺化发光共聚物的光电子器件183&光电子探测系统184&用于制造光电子器件装置的方法和光电子器件装置185&微型夜光电子鱼铃186&一种分段调光电子镇流器调光控制信号控制电路187&自适应调光电子镇流器188&智能荧光灯分级调光电子镇流器189&LED补光电子频闪灯190&光电子半导体器件191&光电子器件192&光电子器件的壳体、光电子器件以及用于制造光电子器件的壳体的方法193&使用脉冲密度调制来控制可调光电子照明镇流器194&光电子器件195&光电子器件196&光电子读头197&使用渡越时间原理进行光电子非接触距离测量的方法和设备198&利用具有光电子速度传感器的扫描型成像器的指纹检测199&光电子倍增管200&用于确定两个对象的相对运动或相对位置的光电子装置温馨提示：我们可提供各类技术，因篇幅限制不能全部列出，若没找到你要的技术资料，可联系客服提供（客服电话：010-0-）网站：
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本书分上、下两篇共8章。上篇为光电探测原理，主要讲述点探测器和像探测器的工作原理、偏置回路设计与使用方法；下篇为光电子统计和最佳检测，主要讲述光场的统计特性与最佳检测方法 本书适合高等学校电子信息类、电子信息科学类相关专业的本科生及物理电子学、光学工程等专业的研究生使用，也适合有关工程技术人员参考。出版社西安电子科技大学出版社页&&&&数296页ISBN, 2出版日期日开&&&&本16开品&&&&牌西安电子科技大学出版社
本书分上、下两篇共8章。上篇为光电探测原理，主要讲述点探测器和像探测器的工作原理、偏置回路设计与使用方法；下篇为光电子统计和最佳检测，主要讲述光场的统计特性与最佳检测方法 　　本书适合高等学校电子信息类、电子信息科学类相关专业的本科生及物理电子学、光学工程等专业的研究生使用，也适合有关工程技术人员参考。上篇 光电探测原理 　　第1章 光电探测基础 　　1.1 光电系统描述 　　1.2 光接收机视场 　　1.3 光电探测器的物理效应 　　1.4 光电转换定律和光电子计数统计 　　1.5 光电探测器的性能参数 　　1.6 光电探测器的噪声 　　1.7 辐度学与光度学 　　1.8 背景辐射 　　1.9 探测器主要性能参数测试 　　习题与思考题 　　第2章 点探测器 　　2.1 光电管 　　2.2 光电倍增管 　　2.3 光电导探测器 　　2.4 PN结光伏探测器的工作模式 　　2.5 硅光电池 　　2.6 光电二极管 　　2.7 象限探测器和位敏探测器 　　2.8 光热探测器 　　习题与思考题 　　第3章 直接探测和外差探测原理 　　3.1 直接探测系统的性能分析 　　3.2 提高输入信噪比的光学方法 　　3.3 前置放大器的噪声特性 　　5.4 光电探测器偏置电路对系统噪声性能的影响 　　3.5 光电阈值探测统计 　　3.6 光频外差探测的基本原理 　　3.7 光频外差探测的信噪比分析 　　3.8 光频外差探测的空间相位条件 　　习题与思考题 　　第4章 像探测器 　　4.1 光电成像概论 　　4.2 真空摄像管 　　4.3 自扫描光电二极管阵列 　　4.4 CCD摄像器件 　　4.5 电荷注入器件CID 　　4.6 固体图像传感器的主要特性参数 　　习题与思考题 　　第5章 微弱光信号检测技术 　　5.1 维纳滤波器 　　5.2 匹配滤波器 　　5.3 最大后验估值 　　5.4 最大似然估值 　　5.5 相关检测原理 　　5.6 锁定放大器 　　5.7 取样积分器 　　5.8 光子计数技术 　　习题与思考题 　　下篇 光电子统计和最佳检测 　　第6章 光场的统计分布 　　6.1 随机变量的统计描述 　　6.2 热光场的统计特性 　　6.3 相干光与热光叠加后的统计特性 　　6.4 相干起伏的光和相干光的混合 　　习题与思考题 　　第7章 光电变换的统计特性 　　7.1 双随机泊松点过程 　　7.2 相干光的光电子统计和泊松变换 　　7.3 线性极化热光的光电子统计 　　7.4 部分极化热光的光电子统计 　　7.5 相干光与热光相混合的光电子统计 　　7.6 调制光束的光电子统计 　　7.7 光电子统计应用举例 　　习题与思考题 　　第8章 光电信号的最佳检测? 　　8.1 估计的基本概念 　　8.2 维纳（Wiener）滤波 　　8.3 卡尔曼（Kalman）滤波 　　8.4 匹配滤波器 　　习题与思考题 　　参考文献
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